Влияние режима отжига на свойства терагерцевой фотопроводящей антенны на основе LT-GaAs
Министерства образования и науки РФ, Государственное задание, 3.7331.2017/9.10
РФФИ, 16-29-14029 офи_м
Номоев С.А.
1, Васильевский И.С.
1, Виниченко А.Н.
1, Козловский К.И.
1, Чистяков А.А.
1, Мишина Е.Д.
2, Хусяинов Д.И.
2, Буряков А.М.
21Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
2МИРЭА - Российский технологический университет, Москва, Россия
Email: bello16@mail.ru, mishina_elena57@mail.ru, Husyainov@mirea.ru
Поступила в редакцию: 3 июля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2017 г.
Методом молекулярно-лучевой эпитаксии выращены пленки LT-GaAs (low temperature gallium arsenide - арсенид галлия, выращенный методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низкой температуре роста) на подложках GaAs(100) при температуре 230oC и проведен постростовый отжиг. На поверхности пленок изготовлены фотопроводящие антенны с флажковой геометрией. Получены мощностные зависимости терагерцевого отклика при различных значениях напряжения смещения и температуры постростового отжига. Методом терагерцевой спектроскопии исследованы спектральные характеристики изготовленных фотопроводящих антенн. Определен диапазон оптимальной температуры постростового отжига (670-720oC) пленок LT-GaAs. DOI: 10.21883/PJTF.2018.02.45459.16947
- Krishna M.G., Kshirsagar S.D., Tewari S.P. // Photodetectors / Ed. S. Gateva. InTech, 2012. Ch. 6
- Gupta S., Frankel M.Y., Valdmanis J.A., Whitaker J.F., Mourou G.A., Smith F.W., Calawa A.R. // Appl. Phys. Lett. 1991. V. 59. N 25. P. 3276--3278
- Smith F.W., Le H.Q., Diadiuk V.. Hollis M.A., Calawa A.R., Gupta S., Franke M., Dykaar D.R., Mourou G.A., Hsiang T.Y. // Appl. Phys. Lett. 1989. V. 54. N 10. P. 890--892
- Harmon E.S., Melloch M.R., Woodall J.M., Nolte D.D., Otsuka N., Chang C.L. // Appl. Phys. Lett. 1993. V. 63. N 16. P. 2248--2250
- Liu T.-A., Tani M., Nakajima M., Hangyo M., Pan C.-L. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 83. N 7. P. 1322--1324
- Warren A.C., Woodall J.M., Kirchner P.D., Yin X., Pollak F., Melloch M.R., Otsuka N., Mahalingam K. // Phys. Rev. B. 1992. V. 46. N 8. P. 4617--4620
- Левашова А.Е., Пастор А.А., Сердобинцев П.Ю., Чалдышев В.В. // Письма в ЖТФ. 2014. Т. 40. В. 12. С. 37--43
- Youn D.-H., Lee S.-H., Ryu H.-C., Jung S.-Y., Kang S.-B., Kwack M.-H., Kim S., Choi S.-K., Baek M.-C., Kang K.-Y., Kim C.-S., Yee K.-J., Ji Y.-B., Lee E.-S., Jeon T.-I., Kim S.-J., Kumar S., Kim G.-H. // J. Appl. Phys. 2008. V. 103. N 12. P. 123528
- Zhang D.H., Radhakrishnan K., Yoon S.F. // J. Cryst. Growth. 1994. V. 135. N 3-4. P. 441--446
- Берт Н.А., Вейнгер А.И., Вилисова М.Д., Голощапов С.И., Ивонин И.В., Козырев С.В., Куницын А.Е., Лаврентьева Л.Г., Лубышев Д.И., Преображенский В.В., Семягин Б.Р., Третьяков В.В., Чалдышев В.В., Якубеня М.П. // ФTT. 1993. Т. 35. В. 10. С. 2609--2625
- Галиев Г.Б., Пушкарёв С.С., Буряков А.М., Билык В.Р., Мишина Е.Д., Климов Е.А., Васильевский И.С., Мальцев П.П. // ФТП. 2017. Т. 51. B. 4. С. 529--534
- Kim J.O., Lee S.J., Yee D.S., Noh S.K., Shin J.H., Park K.H., Kang C., Kee C.-S., Kim D.W., Kim J.S. // J. Korean Phys. Soc. 2011. V. 58. N 5. P. 1334--1338
- Kasai S., Watanabe M., Ouchi T. // Jpn. J. Appl. Phys. 2007. V. 46. N 7A. P. 4163--4165
- Yano R., Gotoh H., Hirayama Y., Miyashita S., Kadoya Y., Hattori T. // J. Appl. Phys. 2005. V. 97. N 10. P. 103103
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.