"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Плазменно-иммерсионное формирование высокоинтенсивных ионных пучков
Рябчиков А.И.1, Ананьин П.С.1, Дектярев С.В.1, Сивин Д.О.1, Шевелев А.Э.1
1Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Email: shevelevae@tpu.ru
Поступила в редакцию: 27 декабря 2016 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2017 г.

Впервые экспериментально показана возможность формирования высокоинтенсивных пучков ионов металлов и газов низкой энергии. Применение гибридной системы формирования ионного пучка, включающей плазменно-иммерсионную экстракцию и ускорение ионов, их последующую баллистическую фокусировку в эквипотенциальном пространстве с обеспечением нейтрализации пространственного заряда пучка, дало возможность импульсно-периодического формирования пучков ионов титана и азота с плотностью ионного тока более 1 A/cm2 и импульсной плотностью мощности 2.6 kW/cm2. DOI: 10.21883/PJTF.2017.23.45269.16645
  • Poate J.M., Foti G., Jacobson D.C. // Surface modification and alloying by laser, ion, and electron beams / Eds J.H. Poate, G. Foti, D.C. Jacobson. Berlin: Springer, 2013. Book 8. P. 414
  • Williams J.S., Poate J.M. // Ion implantation and beam processing / Eds J.S. Williams, J.M. Poate. Academic Press, 2014. P. 419
  • Горшков О.Н., Шенина М.Е., Касаткин А.П. и др. // Письма в ЖТФ. 2015. Т. 41. В. 11. С 62--70
  • Conrad J.R., Radtke J.L., Dodd R.A. et al. // J. Appl. Phys. 1987. V. 62. P. 4591
  • Арбузов Н.М., Ваулин В.А., Исаев Г.П., Кузьмин О.С., Рябчиков А.И. Патент СССР N 1412517. 1990. Бюл. N 33
  • Бурдюх С.В., Стефанович Г.Б., Пергамент А.Л. и др. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 1. С. 65--71
  • Анищик В.М., Углов В.В. // Модификация инструментальных материалов ионными и плазменными пучками. Минск: Изд-во БГУ, 2003. С. 177
  • Goncharenko I.I., Grigoriev S.V., Lopatin I.V., Koval N.N. et al. // Surf. Coat. Technol. 2003. V. 169--170. P. 419--423
  • Арбузов Н.М., Исаев Г.П., Рябчиков А.И. // Изв. вузов. Физика. 1989. Т. 32. В. 8. С. 68--74
  • Anders A., Anders S., Brown I. // Plasma Sources Sci. Technol. 1995. V. 4. P. 1--12
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.