Вышедшие номера
Экспериментальное исследование тонких пленок твердого электролита фосфор-оксинитрида лития
Рудый А.С.1,2, Васильев С.В.1,2, Лебедев М.Е.2, Метлицкая А.В.1,2, Мироненко А.А.2, Наумов В.В.2, Новожилова А.В.1,2, Федоров И.С.2, Чурилов А.Б.1,2
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль
2Ярославский филиал Физико-технологического института РАН, Ярославль
Email: rudy@uniyar.ac.ru
Поступила в редакцию: 27 декабря 2016 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2017 г.

Представлены результаты исследования тонкопленочных образцов твердого электролита LiPON, полученных методом магнетронного нанесения. Приведены данные о морфологии, структуре, элементном и фазовом составе пленок LiPON и результаты исследования их электрофизических параметров. DOI: 10.21883/PJTF.2017.11.44690.16637