"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Экспериментальное исследование тонких пленок твердого электролита фосфор-оксинитрида лития
Рудый А.С.1,2, Васильев С.В.1,2, Лебедев М.Е.2, Метлицкая А.В.1,2, Мироненко А.А.2, Наумов В.В.2, Новожилова А.В.1,2, Федоров И.С.2, Чурилов А.Б.1,2
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль
2Ярославский филиал Физико-технологического института РАН, Ярославль
Email: rudy@uniyar.ac.ru
Поступила в редакцию: 27 декабря 2016 г.
Выставление онлайн: 21 мая 2017 г.

Представлены результаты исследования тонкопленочных образцов твердого электролита LiPON, полученных методом магнетронного нанесения. Приведены данные о морфологии, структуре, элементном и фазовом составе пленок LiPON и результаты исследования их электрофизических параметров. DOI: 10.21883/PJTF.2017.11.44690.16637
  • Bates J.B., Dudney N.J., Gruzalski G.R. et al. // Solid State Ion. 1992. V. 53--56. P. 647
  • Bates J.B., Dudney N.J., Gruzalski G.R. et al. // Power Sources. 1993. V. 43--44. P. 103
  • Xiaohua Yu., Bates J.B., Jellison G.E. // Proceedings of the Symposium on Thin Film Solid Ionic Devices and Materials. 1995. V. 95--22. P. 23
  • Xiaohua Yu., Bates J.B., Jellison G.E., Hart F.X. // Electrochem. Soc. 1997. V. 144. N 2. P. 524
  • Ho Young Park, Sang Cheol Nam, Young Chang Lim et al. // Electroceram. 2006. V. 17. P. 1023
  • Zongqian Hu, Dezhan Li, Kai Xie // Bull. Mater. Sci. 2008. V. 31. N 4. P. 681
  • Nam-Seok Roh, Sang-Dong Lee, Hyuk-Sang // Scripta Mater. 2000. V. 42. P. 43
  • Yoon Gu Kima, Wadley H.N.G. // J. Vac. Sci. Technol. 2008. V. 26. N 1. P. 174
  • Belous A.G., V'yunova O.I., Kovalenko L.L. et al. // Russ. J. Electrochem. 2014. V. 50. N 6. P. 523.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.