Вышедшие номера
Создание дифракционной решетки на алмазной подложке имплантацией ионами бора
Степанов А.Л.1,2,3, Нуждин В.И.1, Галяутдинов М.Ф.1, Курбатова Н.В.1, Валеев В.Ф.1, Воробьев В.В.2, Осин Ю.Н.2
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
2Казанский федеральный университет, Казань, Россия
3Казанский национальный исследовательский технологический университет
Email: aanstep@gmail.com
Поступила в редакцию: 23 июня 2016 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2016 г.

Настоящее исследование относится к способам изготовления дифракционных оптических элементов (дифракционных решеток). Дифракционная решетка была получена на основе алмаза при его имплантации ионами бора через маску. В процессе имплантации в немаскированных областях облучаемого алмаза произошла графитизация алмаза, приведшая к распуханию облученного слоя. Формирование периодических поверхностных графитизированных микроструктур на поверхности алмаза контролировалось методами оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии. Эффективность функционирования дифракционного оптического алмазного элемента показана путем его зондирования излучением гелий-неонового лазера. DOI: 10.21883/PJTF.2017.02.44185.16385
  1. Раткин Л. // Фотоника. 2011. N 4. С. 18-23
  2. Сойфер В.А. Методы компьютерной оптики. М.: Физматлит, 2003
  3. Коненко В.В., Конов В.И., Пименов С.М. и др. // Квантовая электроника. 1999. Т. 26. N 1. С. 9-10
  4. Karlsson M., Nikolajeff F. // Opt. Express. 2003. V. 11. P. 502-507
  5. Тукмаков К.Н., Володин Б.О., Павельев В.С. и др. // Вестник Самарского аэрокосмического госуниверситета. 2012. Т. 7. В. 38. С. 112-116
  6. Shvydko Y., Stopin S., Blank V., Terentev S. // Nat. Photon. 2011. V. 5. P. 539-542
  7. Веревкин Ю.К., Бронникова Н.Г., Королихин В.В. и др. // ЖТФ. 2003. Т. 73. С. 99-102
  8. Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю., Сойфер В.А. Способ изготовления дифракционных оптических элементов на алмазных и алмазоподобных подложках: Патент РФ N 2197006. 2003
  9. Stepanov A.L., Galyautdinov M.F., Evlyukhin A.B. et al. // Appl. Phys. A. 2013. V. 111. P. 261-264
  10. Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Галяутдинов М.Ф., Осин Ю.Н. Дифракционная решетка: Патент РФ N 140494. 2014
  11. Галяутдинов М.Ф., Нуждин В.И., Фаттахов Я.В. и др. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 4. С. 30-37
  12. Курбатова Н.В., Галяутдинов М.Ф., Иванов Н.А и др. // ФТТ. 2013. Т. 55. В. 9. С. 1784-1787
  13. Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации: Дис. ... канд. физ.-мат. наук. М., 2008. 97 с
  14. Deslandes A., Guenette M.C., Belay K. et al. // Nucl. Instr. Metn. Phys. Res. B. 2015. V. 365. P. 331-335
  15. Hushur A., Manghnani M., Werheit H. et al. // J. Phys.: Condens. Matter. 2016. V. 28. P. 045403 (1-5)
  16. Domnich V., Reynaud S., Haber R.A., Chhowalla M. // J. Am. Ceram. Soc. 2011. V. 94. P. 3605-3628

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.