"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Нейросетевой метод восстановления начального профиля концентрации примеси при ионном послойном анализе
Широкорад Д.В. 1, Корнич Г.В.1
1Запорожский национальный технический университет, Запорожье, Украина
Email: slejpnir@zntu.edu.ua
Поступила в редакцию: 15 октября 2015 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2016 г.

Предлагается новый подход к решению задачи восстановления концентрационного профиля примеси при ионном послойном анализе. Алгоритм восстановления профиля основан на использовании искусственной нейронной сети. Входные значения для сети - поверхностные концентрации примеси в последовательные моменты времени послойного анализа. Искусственная нейронная сеть натренирована на разные толщины примесного слоя и глубины его залегания, а также на разные значения параметров используемого в данной модели диффузионно-подобного уравнения ионного перемешивания.
  1. King B.V. // Nucl. Instr. Meth. B. 1985. V. 7/8. N 2--3. P. 793--797
  2. Carter G. // Nucl. Instr. Meth. B. 1989. V. 36. N 4. P. 404--411
  3. Хайкин С. Нейронные сети: полный курс. 2-е изд.: Пер. с англ. М.: Издат. дом "Вильямс", 2006. 1104 с
  4. Dumin O.M., Dumina O.O., Shyrokorad D.V. // Proc. 3rd European Conference on Antennas and Propagation (Eucap-2009). Berlin. Germany. March 23--27. 2009. P. 235--238
  5. Littmark U., Hofer W.O. // The Theory of Recoil Mixing in Solids. Thin Film and Depth Profile Analysis. Berlin: Springer-Verlag, 1984. P. 159
  6. King B.V., Tonn D.G., Tsong I.S.T. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1984. V. 27. P. 103
  7. Kornich G.V., Betz G., Bazhin A.I. // NIM. B. 1999. B. 152. P. 437
  8. Hamming R.W. Numerical Methods for Scientists and Engineers. 2nd ed. Mineola: Dover Publications, 1987. 752 p
  9. Widrow B. // Proc. IEEE. 1990. V. 78. N 9. P. 1415--1442
  10. Shirokorad D.V., Dumin A.N., Dumina O.A., Katrich V.A. // Telecommun. Radio Eng. 2011. V. 70. N 10. P. 873--881
  11. Miccio L.A., Kummali M.M., Montemartini P.E. et al. // J. Chem. Phys. 2011. V. 135. P. 064 704

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.