"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Электрохимическое травление p-n-GaN/AlGaN-фотоэлектродов
Усиков А.С.1,2, Helava H.2, Nikiforov A.3, Пузык М.В. 4,1, Папченко Б.П.1, Ковалева Ю.В.1, Макаров Ю.Н.2,5
1Университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург, Россия
2Nitride Crystals Inc., 181 E Industry Ct., Ste. B, Deer Park, NY, USA
3Boston University, Photonics Center, 8 St. Mary's St., Boston, MA, USA
4Российский государственный педагогический университет имени А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
5Группа компаний "Нитридные кристаллы", Санкт-Петербург, Россия
Email: puzyk@mail.ru
Поступила в редакцию: 16 декабря 2015 г.
Выставление онлайн: 20 апреля 2016 г.

Исследованы особенности травления p-n-структур GaN/AlGaN в щелочном электролите на основе KOH. Установлено, что вначале процесс коррозии проходил сквозь p-слои по вертикальным каналам, связанным с прорастающими дефектами в структуре. Затем процесс коррозии проходил в латеральном направлении по n-слоям структуры, формируя локальные полости и пустоты. Латеральное травление связано с присутствием положительных пьезоэлектрических зарядов на границах слоев n-AlGaN и n-GaN и положительно заряженных ионизованных доноров в области пространственного заряда p-n-перехода.
  • Ohkawa K., Ohara W., Uchida D., Deura M. // Jpn. J. Appl. Phys. 2013. V. 52. P. 08JH04
  • Aryal K., Pantha B.N., Li J., Lin J.Y., Jiang H.X. // Appl. Phys. Lett. 2010. V. 96. P. 052110 (1--3)
  • Aryal K., Pantha B., Dahal R., Li J., Lin J., Jiang H. // APS March Meeting. 2011. March 21--25, abstract \#W31.006
  • Shmidt N., Shabunina E., Usikov A., Chernyakov A., Kurin S., Helava H., Makarov Yu. // Phys. Status Solidi. 2015. V. C12. N 8. P. 1136--1139
  • Macht L., Kelly J.J., Weyher J.L., Grzegorczyk A., Larsen P.K. // J. Cryst. Growth. 2005. V. 273. N 3--4. P. 347--356
  • Zhuang D., Edgar J.H. // Mat. Sci. Eng. R-Rep. 2005. V. R48. P. 1--46
  • Mishra U.K., Parikh P., Wu Y.F. // Proc. IEEE. 2002. V. 90. N 6. P. 1022--1031
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.