"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние условий выращивания на морфологию поверхности и развитие механических напряжений в слоях Al(Ga)N в процессе газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений
Лундин В.В.1, Заварин Е.Е.1, Брунков П.Н.1, Яговкина М.А.1, Трошков С.И.1, Сахаров А.В.1, Николаев А.Е.1, Цацульников А.Ф.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: lundin.vpegroup@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 12 ноября 2015 г.
Выставление онлайн: 1 апреля 2016 г.

Изучено влияние параметров технологического процесса на морфологию поверхности и развитие механических напряжений при газофазной эпитаксии слоев Al(Ga)N из металлоорганических соединений на сапфировых подложках. Минимизация растягивающих напряжений при сохранении атомарно-гладкой поверхности возможна при совместном использовании нитридизации подложки в потоке аммиака, формировании двухслойных структур AlN-Al(Ga)N за счет введения небольшой доли Ga (единицы процентов) после выращивания тонкого слоя AlN и снижения потока аммиака во время роста слоя Al(Ga)N.
  • Imura M., Sugimura H., Okada N., Iwaya M., Kamiyama S., Amano H., Akasaki I., Bandoh A. // J. Crystal Growth. 2008. V. 310. P. 2308
  • Мазалов А.В., Сабитов Д.Р., Курешов В.А., Падалица А.А., Мармалюк А.А., Акчурин Р.Х. // Материалы электронной техники. 2013. N 1. С. 45--48
  • Dadgar A., Krost A., Christen J. et al. // J. Crystal Growth. 2006. V. 297. P. 306--310
  • Lundin W.V., Nikolaev A.E., Yagovkina M., Brunkov P., Rozhavskaya M., Ber B.Ya., Kazantsev D.Yu., Tsatsulnikov A.F., Lobanova A.V., Talalaev R.A. // J. Crystal Growth. 2012. V. 352. P. 209--213
  • Raghavan S., Redwing J.M. // J. Appl. Phys. 2004. V. 96 (5). P. 2995
  • Lundin W.V., Nikolaev A.E., Rozhavskaya M.M., Zavarin E.E., Sakharov A.V., Troshkov S.I., Yagovkina M.A., Tsatsulnikov A.F. // J. Crystal Growth. 2013. V. 370. P. 7--11
  • Brunner F., Mogilatenko A., Kueller V., Knauer A., Weyers M. // J. Crystal Growth. 2013. V. 376. P. 54
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.