Размеры нейтральных кластеров и процессы их фрагментации при ионном распылении твердого тела
Матвеев В.И.1, Макаров Д.Н.1, Капустин С.Н.1
1Северный (Арктический) федеральный университет им. М.В. Ломоносова, Архангельск
Email: mezon98@mail.ru
Поступила в редакцию: 18 марта 2015 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2015 г.
Развита теория ионного распыления твердого тела в виде возбужденных кластеров с их последующей фрагментацией, основанная на простых физических предположениях и находящаяся в согласии с экспериментом. Результаты представлены в виде удобных для использования формул. В качестве примера проведены расчеты полных выходов кластеров серебра и индия.
- Машкова Е.С. (сост.) // Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел. Сб. статей. М.: Мир, 1989. 399 с
- Sigmund P. // Special issue on Ion Beam Science: Solved and Unsolved Problems. K. Dan. Vidensk. Selsk. Mat. Fys. Medd. 2006. V. 52
- Behrisch R., Eckstein W. // Sputtering by Particle Bombardment: Experiments and Computer Calculations from Threshold to MeV Energies. Berlin: Springer, 2007
- Wucher A. // Appl. Surf. Sci. 2006. V. 252. P. 6482
- Баранов И.А., Мартыненко Ю.В., Цепелевич С.О., Явлинский Ю.Н. // УФН. 1998. Т. 156. С. 478
- Распыление под действием бомбардировки частицами. Вып. 3. / Под ред. Р. Бериша и К. Виттмака. М.: Мир, 1998. 551 с
- Матвеев В.И., Кочкин С.А. // ЖЭТФ. 2010. Т. 137. С. 820
- Матвеев В.И., Белых С.Ф., Веревкин И.В. // ЖТФ. 1999. Т. 69. В. 3. С. 64--68
- Belykh S.F., Matveev V.I., Veryovkin I.V. et al. // Nucl. Instrum. Meth. B. 1999. Т. 155. С. 409
- Киттель Ч. // Введение в физику твердого тела. М.: Наука, 1978. 792 с
- Staudt С., Heinrich R., Wucher A. // Nucl. Instrum. Meth. B. 2000. V. 164--165. P. 677--686
- Staudt C., Wucher A. // Phys. Rev. B. 2002. V. 66. P. 075 419
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
