"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Особенности атомного и электронного строения нитевидного кремния, сформированного на подложках с различным удельным сопротивлением по данным ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии
Турищев С.Ю., Терехов В.А., Нестеров Д.Н., Колтыгина К.Г., Сиваков В.А., Домашевская Э.П.
Поступила в редакцию: 17 октября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2015 г.

Массивы нитевидного кремния были получены методом жидкофазного металл-ассистированного химического травления с использованием подложек кристаллического кремния. Сформированные массивы и отдельные нити изучались методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии. Электронное строение и фазовый состав поверхности и приповерхностных слоев сформированных массивов были изучены методом ультрамягкой рентгеновской спектроскопии. Показано, что морфологически более развитый образец, сформированный на подложке с низким удельным сопротивлением, значительно сильнее подвержен окислению с заметным образованием фаз промежуточных оксидов кремния. Массив нитей, сформированных на подложке с высоким удельным сопротивлением, также подвержен естественному окислению, но в существенно меньшей степени, а с увеличением глубины анализа содержит в основном фазу кристаллического кремния, составляющего объем сформированных нитей.
  1. Canham L.T. // Appl. Phys. Lett. 1990. V. 57. N 10. P. 1046--1048
  2. Jung K.H., Shin S., Kwong D.L. // J. Electrochem. Soc. 1993. V. 140. N 10. P. 3046--3064
  3. John G.C., Singh V.A. // Phys. Rev. B. 1994. V. 50. N 8. P. 5329--5334
  4. Sivakov V.A., Voigt F., Berger A., Bauer G., Christiansen S.H. // Phys. Rev. B. 2010. V. 82. P. 125 446
  5. Domashevskaya E.P., Golikova O.A., Terekhov V.A., Trostyanskii S.N. // J. Non-Cryst. Solids. 1987. V. 90. P. 135--138
  6. Shulakov A.S. // Crystal Research and Technology. 1988. V. 23. N 6. P. 835--838
  7. Терехов В.А., Тростянский С.Н., Селезнев А.Е., Домашевская Э.П. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1988. Т. 5. С. 74--78
  8. Turishchev S.Yu., Terekhov V.A., Kashkarov V.M., Domashevskaya E.P., Molodtsov S.L., Vyalykh D.V. // J. Electron Spectroscopy and Related Phenomena. 2007. V. 156--158. P. 445--451
  9. Terekhov V.A., Kashkarov V.M., Turishchev S.Yu., Pankov K.N., Volodin V.A., Efremov M.D., Marin D.V., Cherkov A.G., Goryainov S.V., Korchagin A.I., Cherepkov V.V., Lavrukhin A.V., Fadeev S.N., Salimov R.A., Bardakhanov S.P. // J. Materials Science and Engineering B. 2008. V. 147. Р. 222--225
  10. Зимкина Т.М., Фомичев В.А. Ультрамягкая рентгеновская спектроскопия. Л.: ЛГУ, 1971. 132 с
  11. Sivakov V.A., Bronstrup G., Pecz B., Berger A., Radnoczi G.Z., Krause M., Christiansen S.H. // J. Phys. Chem. 2010. V. 114. N 9. P. 3798--3803
  12. Terekhov V.A., Kashkarov V.M., Manukovskii E.Yu., Schukarev A.V., Domashevskaya E.P. // J. Electron Spectr. and Rel. Phen. 2001. V. 114--116. P. 895
  13. Wiech G., Feldhutter H.-O., Simunek A. // Phys. Rev. B. 1993. V. 47. N 12. P. 6981--6989

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.