"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Прозрачные проводящие тонкие пленки на основе ZnO, полученные магнетронным распылением композитной мишени ZnO : Ga-C
Абдуев А.Х.1, Ахмедов А.К.1, Асваров А.Ш.1
1Институт физики им. Х.И. Амирханова Дагестанского научного центра РАН, Махачкала
Email: cht-if-ran@mail.ru
Поступила в редакцию: 6 марта 2014 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2014 г.

Представлены результаты исследования структуры, электрических и оптических свойств прозрачных проводящих пленок на основе ZnO, легированного галлием, полученных методом магнетронного распыления композитной мишени ZnO : Ga-C. Взаимодействия ZnO с C в тонком поверхностном слое мишени, инициированное ионной бомбардировкой, приводит к увеличению содержания избыточного цинка в составе потока реагентов. Формирование прозрачных проводящих тонких пленок ZnO : Ga при температурах подложки более 100oC в условиях наличия избыточного цинка у поверхности роста имеет результатом улучшение структуры и увеличение проводимости пленок без снижения оптического пропускания в видимом диапазоне.
  • Ellmer K., Klein A., Rech B. Transparent Conductive Zinc Oxide: Basic and Applications in Thin Films Solar Cells. Dordrecht: Springer, 2008
  • Osada M et al. // Thin Solidi Films. 2006. V. 494. P. 38
  • Kims S. et al. // Cryst. Res. Technol. 2006. V. 4(12). P. 1194
  • Horwat D. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2010. V. 43. P. 132 003
  • Abduev A. et al. // J. Phys.: Conf. Ser. 2011. V. 291. P. 012 039
  • Ma Q.-B. et al. // Scripta Materialia. 2008. V. 58. P. 21
  • Swanapoel R. // J. Phys. E: Sci. Instrum. 1983. V. 16. P. 1214
  • Birkholz M. Thin Film Analysis by X-Ray Scattering. Weinheim: Wiley-VCH Verlag GmbH Co., 2005. P. 11, 115
  • Ellmer K. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. V. 34. P. 3097
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.