Вышедшие номера
Рентгенодифракционное исследование реальной структуры микроканального кремния
Астрова Е.В.1, Ратников В.В.1, Ременюк А.Д.1, Ткаченко А.Г.1, Шульпина И.Л.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 9 августа 2000 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2000 г.

Методами рентгеновской дифрактометрии и топографии исследована структура кристаллической решетки микроканального кремния и влияние на нее процессов термического окисления.