Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Микролегирование приповерхностных слоев арсенида галлия ионами водорода
Анисимов В.В.1,2, Демкин В.П.1,2, Квинт И.А.1,2, Мельничук С.В.1,2, Семухин Б.С.1,2
1Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия 
2Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, Россия
2Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 16 ноября 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.
Предлагается метод микролегирования приповерхностных слоев полупроводников ионами водорода с использованием плазменно-пучкового разряда. Проведенный эксперимент на арсениде галлия показал, что данный метод является эффективным по сравнению с известными способами модифицирования приповерхностных слоев.
- Сергеев А.Н., Ремнев Г.Е., Руднев С.В. Тонкослойное протонно-ионное модифицирование. Томск: Изд-во Томского университета, 1993. 417 с
- Davis H.A., Remnev G.E., Stinnett R.W., Yatsui K. // Intense Ion-Beam Treatmen of Materials. MRS BULLETIN. August, 1996. P. 58--62
- Karelin A.V., Demkin V.P., Melnichuk S.V. // International Conference on LASERS'96. 1996. P. 653--657
- Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1997. 592 с
- Демкин В.П., Мельничук С.В., Муравьев И.И. // Оптика атмосферы и океана. 1993. N 3. С. 253--257
- Демкин В.П., Купчинский Н.Л. // Процессы ионизации с учетом возбужденных атомов. Л. 1988. С. 168--169
- Warren B.E. // Phys. Rev. 1941. V. 59. N 9. P. 693--698
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
