Вышедшие номера
Технологические возможности повышения точностных параметров фотоприемника мультискан
Подласкин Б.Г.1, Токранова Н.А.1, Васильев А.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 октября 1996 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1996 г.

Рассмотрены возможности улучшения точностных характеристик фотоприемника мультискан путем использования различных глубин анизотропного травления кремния при изготовлении структур КСДИ. Предложена и описана новая конструкция, проанализированы ее основные характеристики. Показано снижение влияния дискретности структуры прибора на величину периодической составляющей ошибки координирования положения одиночного светового пятна малого размера.
  1. Берковская К.Ф., Кириллова Н.В., Подласкин Б.Г., Столовицкий В.М., Токранова Н.А. Научно-технические достижения. М.: ВИМИ, 1992. В. 2. С. 22--25
  2. Подласкин Б.Г., Романова Е.П., Юферев В.С. ЖТФ. 1992. Т. 62. В. 10. С. 126--137
  3. Брюхно Н.А., Жарковский Е.М., Концевой Ю.А., Сахаров Ю.Г. Обзоры по электронной технике. Сер. 3. Микроэлектроника. 1987. В. 4. (1304). 40 с
  4. Подласкин Б.Г., Романова Е.П., Юферев В.С. ЖТФ. 1993. Т. 63. В. 11. С. 1--7

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.