Вышедшие номера
Особенности роста эпитаксиальных слоев карбида кремния из газовой фазы, создаваемой магнетронным реактивным распылением
Рогачев Н.А.1, Кузнецов А.Н.1, Теруков Е.И.1, Лебедев А.А.1, Челноков В.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1994 г.

  1. Nishino S., and Saraie J. Springer Proc. Phys. V. 34. Springer, Berlin, 1989, p. 186
  2. Sugii T., Aoyama T., Ito T. J. Electrochem. Soc. 1990. V. 3. P. 989
  3. Motoyama S., Morikawa N., Nasu M., Konedan S. J. Appl. Phys. 1990. V. 68. P. 101
  4. Yoshinobu T., Mitsui H., Tarui Y., Fuyuki T., Matsunami H. J. Appl. Phys. 1992. V. 72. P. 2006
  5. Wahab Q., Hultman L., Sundgren J.-E., Willander M. J. Mater. Sci. Eng. 1992. B. 11. P. 61
  6. Аникин М.М., Андреев А.Н., Лебедев А.А., Пятко С.Н., Расстегаева М.Г., Савкина Н.С., Стрельчук А.М., Сыркин А.Л., Челноков В.Е. ФТП. 1991. Т. 25. С. 328

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.