"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Шероховатость пленок аморфного, поликристаллического кремния и поликристаллического кремния с полусферическими зернами
Новак А.В.1, Новак В.Р.1
1Национальный исследовательский университет МИЭТ, Москва, Зеленоград Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина, Зеленоград
Email: novak-andrei@mail.ru
Поступила в редакцию: 14 мая 2013 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2013 г.

Изучены шероховатость, пространственные и корреляционные свойства поверхности для трех характерных типов LPCVD пленок кремния: аморфных и поликристаллических, имеющих относительно "гладкую" поверхность, и поликристаллических пленок с полусферическими зернами (HSG-Si), имеющих значительную шероховатость поверхности, посредством атомно-силовой микроскопии. Из анализа корреляционной функции и функции спектральной плотности мощности найдено, что для описания морфологии пленок аморфного и поликристаллического кремния подходит модель самоаффинной поверхности, тогда как для HSG-Si пленок --- модель "холмообразной" поверхности.
  • Kamins T.I. // Polycrystalline Silicon for Integrated Circuits and Displays. Kluwer Academic Publishers, Norwell, MA, 1998
  • Gerritsen E., Emonet N., Caillat C. et al. // Solid State Electron. 2005. V. 49. P. 1767-1775
  • Ino M., Miyano J., Kurogi H. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1996. V. 14. N 2. P. 751-756
  • Watanabe H., Aoto N., Adachi S. et al. // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. N 7. P. 3538-3543
  • Новак А.В., Никольский Ю.В., Фокичев С.Н. // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. В. 16. С. 1-8
  • Voutsas A.T., Hatalis K.M. // J. Electrochem. Society. 1993. V. 140. N 1. P. 282-288
  • Edrei R., Shauly E.N. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2000. V. 18. N 1. P. 41-47
  • Strauer Y.E., Scorth M., Sweeney J.J. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1997. V. 15. N 3. P. 1007-1013
  • Yang H.-N., Zhao Y.-P., Chan A. et al. // Phys. Rev. B. 1997. V. 56. N 7. P. 4224-4232
  • Zhao Y.-P., Yang H.-N., Wang G.-C. et al. // Phys. Rev. B. 1998. V. 57. N 3. P. 1922-1934
  • Pelliccione M., Karabacak T., Gaire C. et al. // Phys. Rev. B. 2006. V. 74. P. 125 420
  • Vatel O., Dumas P., Chollet F. et al. // Jap. J. App. Phys. 1993. V. 32. P. 5671-5674
  • Blunt L., Jiang X. // Advanced techniques for assessment surface topography: development of a basis for 3D surface texture standards "surfstand". London: Kogan Page Science, 2003
  • ISO 25178-2:2012 Geometrical product specifications (GPS) --- surface texture: Areal --- Part 2: Terms, definitions and surface texture parameters
  • ASME B46.1-2009 Surface Texture (Surface Roughness, Waviness, and Lay), American national standard
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.