Вышедшие номера
Исследование методом комбинационного рассеяния света тонких пленок магнетита на окисленной поверхности кремния
Викулов B.A.1, Балашев В.В.1, Писаренко Т.А.1, Дмитриев А.А.1, Коробцов В.В.1
1Институт автоматики и процессов управления ДО РАН, Владивосток Школа естественных наук Дальневосточного федерального университета, Владивосток
Email: vikulov@mail.dvo.ru
Поступила в редакцию: 14 марта 2012 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2012 г.

Методом комбинационного рассеяния света исследованы поликристаллические пленки магнетита, сформированные реактивным осаждением Fe в атмосфере кислорода на подложке Si(001), покрытой тонким (1.4 nm) и толстым (1200 nm) слоем SiO2. Установлено, что в пленках Fe3O4, выращенных на толстом слое SiO2, происходит образование фазы alpha-Fe2O3 за счет нагрева под действием лазерного излучения. Показано, что образование фазы alpha-Fe2O3 зависит от толщины слоя оксида кремния.