Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Плазмохимический синтез карбида титана на медных подложках
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия 
2ЗАО "С.Е.Д.-СПб", Санкт-Петербург
3Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
2ЗАО "С.Е.Д.-СПб", Санкт-Петербург
3Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: LISran@yandex.ru
Поступила в редакцию: 13 марта 2011 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2011 г.
Приведены результаты исследований свойств покрытий, получаемых путем осаждения титана из потока металлической плазмы, генерируемой вакуумно-дуговым разрядом, в парах бензола. Изучен плазменный состав, а также состав и структура формируемых покрытий карбида титана на медных подложках. Рассмотрены вопросы проникновения плазменного потока в глубь цилиндрической полости. Обсуждается механизм формирования покрытия карбида титана на анодах генераторных ламп.
- Суетин Д.В., Шеин И.Р., Курлов А.С. и др. // ФТТ. 2008. Т. 50. В. 8. С. 1366--1372
- Черкашенко В.М., Назарова C.З., Гусев А.И. и др. // Журнал структурной химии. 2001. Т. 42. N 6. С. 1195--1221
- Быстров Ю.А., Ветров Н.З., Лисенков А.А. // Письма в ЖТФ. 2010. Т. 36. В. 17. С. 63--70
- Барченко В.Т., Быстров Ю.А., Колгин Е.А. Ионно-плазменные технологии в электронном производстве. СПб.: Энергоатомиздат, 2001, 332 с
- Лихолобов В.А. // Соровский образовательный журнал. 1997. N 5. С. 35--42
- Кириков А.В., Рыжов В.В., Суслов А.И. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. В. 19. С. 82--86
- Колгин Е.А., Ухов А.А., Савушкин А.В. // Петербургский журнал электроники. 2008. N 2--3. С. 120--126
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
