Релаксационная спектроскопия глубоких уровней в полупроводниках методом LAPLACE-DLTS
Левин М.Н.1, Бормонтов А.Е.1, Ахкубеков А.Э.1, Татохин Е.А.1
1Воронежский государственный университет Воронежская государственная технологическая академия
Email: bormontovae83@mail.ru
Поступила в редакцию: 20 мая 2010 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2010 г.
Метод DLTS является одним из основных при определении параметров электрически активных центров локализации заряда в полупроводниках. С целью повышения точности и адекватности получаемых результатов в раборе предложен метод, основанный на применении обратного преобразования Лапласа. Показано, что использование этого метода позволяет определять параметры центров, имеющих близкие значения коэффициентов эмиссии, что невозможно при использовании традиционного метода DLTS.
- Lang D.V. // J. Appl. Phys. 1974. V. 45. N 7. P. 3023-3033
- Берман Д.Л., Лебедев А.А. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках. Л.: Наука, 1981. 176 с
- Nolte D.D., Haller E.E. // J. Appl. Phys. 1987. V. 62. N 3. P. 900-906
- Dobaczewski L., Kaczor P., Hawkins I.D., Peaker A.R. // J. Appl. Phys. 1994. V. 76. N 1. P. 194-198
- Татохин Е.Е., Каданцев А.В., Бормонтов А.Е., Задорожний В.Г. // ФТП. 2010. Т. 44. N 8. С. 1031-1037
- Lawson C.L., Hanson R.J. Solving least squares problems. Prentice-Hall, Englewood Cliffs, 1974. 340 p
- Hansen P.C. // SIAM Review. 1992. V. 34. P. 561-580
- Левин М.Н., Татаринцев А.В., Ахкубеков А.Э. // ФТП. 2009. Т. 43. В. 5. С. 613-616
- Dobaczewski L., Peaker A.R., Binde Nielsen K. // J. Appl. Phys. 2004. V. 96. N 9. P. 4689-4728
- Provencher S.W. // Computer Phys. Commun. 1982. V. 27. P. 213-227
- Тихонов А.П., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1979. 288 с
- Каданцев А.В., Котов Г.И., Левин М.Н., Татаринцев А.В., Шлык Ю.К. // ПТЭ. 2004. N 6. С. 138-139
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук