"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Осаждение YBa2Cu3O7-delta пленок на обе стороны подложки методом магнетронного напыления
Востоков Н.В.1, Дроздов Ю.Н.1, Мастеров Д.В.1, Павлов С.А.1, Парафин А.Е.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: masterov@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 29 января 2010 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2010 г.

Исследованы особенности формирования пленок YBa2Cu3O7-delta на обеих сторонах подложки при их поочередном нанесении методом магнетронного напыления в геометрии on- axis. При напылении пленки на первую сторону подложки, на ее второй стороне формируется тонкая пленка, которая может служить качественным подслоем при получении пленки заданной толщины на второй стороне подложки. Показано, что контроль свойств пленки, сформировавшейся на обратной стороне подложки в процессе напыления на лицевую сторону, может служить тестом на оптимизацию технологических параметров роста.
  • Tao Yu, Chunguang Li, Fei Li et al. // IEEE Trans. on Microwave Theory and Techniques. 2009. V. 57. N 7. P. 1783
  • Muller G., Aschermann B., Chaloupka H. et al. // IEEE Trans. on Appl. Supercond. 1997. V. 7. N 2. P. 1287
  • Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е., Дроздов Ю.Н. // ЖТФ. 2007. Т. 77. В. 10. С. 109
  • Варганов А.В., Вопилкин Е.А., Вышеславцев П.П. и др. // Письма в ЖЭТФ. 1996. Т. 63. В. 8. С. 608
  • Данилин Б.С. // Обзоры по высокотемпературной сверхпроводимости. 1992. В. 4(8). С. 101
  • Rossnagel S.M., Cuomo J.J. // Thin Solid Films. 1989. V. 171. P. 143
  • Технология тонких пленок (справочник) / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Т. 1. Пер. с англ. под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко. М.: Сов. радио, 1977. 664 с. (Handbook of Thin Film Technology / Ed. by L.I. Maissel and R. Glang. V. 1. McGraw Hill Hook Company, 1970)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.