Вышедшие номера
О возможности формирования монокристаллических конденсатов алюминия на изотропных подложках при помощи самоорганизованных ионных распылителей
Перекрестов В.И.1, Корнющенко А.С.1, Косминская Ю.А.1
1Сумский государственный университет, Сумы, Украина
Email: kpe@sumdu.edu.ua
Поступила в редакцию: 4 апреля 2006 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2006 г.

Предложен принципиально новый технологический подход самоорганизации монокристаллического состояния Al на изотропных подложках при стационарной конденсации обратных диффузионных потоков планарного магнетрона. Проанализированы функциональные возможности самоорганизованных ионных распылителей. PACS: 81.10.-h
  1. Родин Т., Уолтон Д. Монокристаллические пленки. М.: Мир, 1966
  2. Walton D., Rhodin T., Rollings R. // J. Chem. Phys. 1963. V. 38. P. 2698
  3. Перекрестов В.И. // Письма в ЖТФ. 2005. Т. 31. В. 19. С. 41--46
  4. Чернов А.А. Кристаллография. Т. 3. М.: Наука, 1980
  5. Херман М. Полупроводниковые сверхрешетки. М.: Мир, 1989
  6. Уфимцев В.Б., Акчурин Р.Х. Физико-химические основы жидкофазной эпитаксии. М.: Металлургия, 1983
  7. Федосюк В.М., Шелег М.У., Касютич О.И. // Зарубежная радиоэлектроника. 1990. N 5. С. 88
  8. Фельдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М.: Мир, 1989
  9. Перекрестов В.И., Косминская Ю.А. // Письма в ЖЭТФ. 2003. Т. 78. С. 258
  10. Перекрестов В.И., Кравченко С.Н. // ПТЭ. 2002. N 3. С. 123
  11. Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989
  12. Глэнг Р. Технология тонких пленок. Т. 1. М.: Сов. радио, 1977
  13. Перекрестов В.И., Косминская Ю.А. // Металлофизика и новейшие технологии. 2005. Т. 27. С. 265

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.