"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Влияние материала подложки на осаждение углеродных пленок из газовой фазы
Тюрнина А.В.1, Золотухин А.А.1, Образцов А.Н.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: obraz@polly.phys.msu.ru
Поступила в редакцию: 7 марта 2006 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2006 г.

Представлены результаты сравнительного исследования углеродных пленок, полученных плазмохимическим осаждением на подложках, изготовленных из никеля и кремния. Осаждение пленок проводилось из газовой смеси водорода и метана, активированной разрядом постоянного тока. Состав и структурные характеристики пленок анализировались методами комбинационного рассеяния света и растровой электронной микроскопии. Обнаружено, что по сравнению с кремнием образование нанографитных пленок на никеле происходит при существенно более низких температурах и концентрациях метана. PACS: 81.15.Jh
  1. Obraztsov A.N., Zolotukhin A.A., Ustinov A.O. et al. // Carbon. 2003. V. 41. P. 836--839
  2. Золотухин А.А., Образцов А.Н., Волков А.П. и др. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. С. 58--63
  3. Золотухин А.А., Образцов А.Н., Устинов А.О. и др. // ЖЭТФ. 2003. Т. 124. С. 1291--1297
  4. Obraztsov А.N., Volkov A.P., Zakhidov Al.A. et al. // Appl. Surf. Science. 2003. V. 215. P. 214--221
  5. Mikheev G.M., Zonov R.G., Obraztsov A.N. et al. // Appl. Phys. Lett. 2004. V. 84. P. 4854--4856
  6. Физические величины: Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. С. 223
  7. Lopez-Rios T., Sandre E., Leclercq et al. // Phys. Rev. Lett. 1996. V. 76. P. 4935--4938

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.