"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние материала подложки на осаждение углеродных пленок из газовой фазы
Тюрнина А.В.1, Золотухин А.А.1, Образцов А.Н.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: obraz@polly.phys.msu.ru
Поступила в редакцию: 7 марта 2006 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2006 г.

Представлены результаты сравнительного исследования углеродных пленок, полученных плазмохимическим осаждением на подложках, изготовленных из никеля и кремния. Осаждение пленок проводилось из газовой смеси водорода и метана, активированной разрядом постоянного тока. Состав и структурные характеристики пленок анализировались методами комбинационного рассеяния света и растровой электронной микроскопии. Обнаружено, что по сравнению с кремнием образование нанографитных пленок на никеле происходит при существенно более низких температурах и концентрациях метана. PACS: 81.15.Jh
  • Obraztsov A.N., Zolotukhin A.A., Ustinov A.O. et al. // Carbon. 2003. V. 41. P. 836--839
  • Золотухин А.А., Образцов А.Н., Волков А.П. и др. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. С. 58--63
  • Золотухин А.А., Образцов А.Н., Устинов А.О. и др. // ЖЭТФ. 2003. Т. 124. С. 1291--1297
  • Obraztsov А.N., Volkov A.P., Zakhidov Al.A. et al. // Appl. Surf. Science. 2003. V. 215. P. 214--221
  • Mikheev G.M., Zonov R.G., Obraztsov A.N. et al. // Appl. Phys. Lett. 2004. V. 84. P. 4854--4856
  • Физические величины: Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. С. 223
  • Lopez-Rios T., Sandre E., Leclercq et al. // Phys. Rev. Lett. 1996. V. 76. P. 4935--4938
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.