Управление распределением плотности тока по поверхности плазменного эмиттера большой площади
Мартенс В.Я.1, Шевченко Е.Ф.1
1Северо-Кавказский государственный технический университет, Ставрополь
Email: vmartens@yandex.ru
Поступила в редакцию: 6 декабря 2010 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2011 г.
Предложен плазменный эмиттер большой площади, в котором возможно управление распределением плотности тока по поверхности эмиттера по двум координатам: радиусу и полярному углу. Управление осуществляется путем регулировки токов вспомогательного и основного разрядов угла наклона электродов составного анода и их потенциалов. Эмиттер прошел испытания на промышленной установке вакуумного напыления и был использован для ионной очистки подложек тонкопленочных микроплат.
- Бугаев С.П., Крейндель Ю.Е., Щанин П.М. Электронные пучки большого сечения. М.: Энергоатомиздат, 1984. 112 с
- Источники электронов с плазменным эмиттером. Новосибирск: Наука, 1983. С. 25--33
- Источник заряженных частиц с плазменным эмиттером. Екатеринбург: УИФ "Наука ", 1993. С. 52--56
- Никулин С.П., Чичигин Д.Ф., Третников П.В. // ЖТФ. 2004. Т. 74. N 9. С. 39--43
- Лимпехер, Мак-Кензи // Приборы для научных иссл. 1973. N 6. С. 56--63
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук