Плавление пористого кремния при воздействии мощного ионного пучка наносекундной длительности
Ковивчак В.С.1, Давлеткильдеев Н.А.1
1Омский филиал Института физики полупроводников
Email: kvs@univer.omsk.su
Поступила в редакцию: 3 декабря 2008 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2009 г.
Исследовано плавление слоев пористого кремния при воздействии мощного протон-углеродного пучка наносекундной длительности. Приведены размеры образующихся при таком воздействии эллипсоидальных частиц. Экспериментально оценен порог плавления слоев пористого кремния с пористостью 50%. PACS: 81.05.Cy, 81.05.Rm, 81.05.Zx, 81.07.Bc
- Borini S., Amato G., Rocchia M., Boarino L. et al. // J. Appl. Phys. 2003. V. 93. N 8. P. 1--3
- Paszti F. et al. // Phys. Stat. Sol (a). 2000. V. 182. P. 272--278
- Сорокин Л.М., Соколов В.И., Бурцев А.П. и др. // Письма в ЖТФ. 2007. Т. 33. В. 24. С. 69--75
- Dittrich Th., Sieber I., Henrion W. et al. // Appl. Phys. A. 1996. V. 63. P. 467--470
- Timoshenko V.Yu., Dittrich Th., Sieber I. et al. // Phys. Stat. Sol (a). 2000. V. 182. P. 322--330
- Ушаков В.В., Дравин В.А., Мельник Н.Н. и др. // ФТП. 1997. Т. 31. В. 9. С. 1126--1129
- Hu X., Cahill D.G., Averback R.S. // J. Appl. Phys. 2001. V. 89. N 12. P. 7777--7783
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук