"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Осаждение алмазоподобных a-C : H покрытий в несамостоятельном разряде с плазменным катодом
Гаврилов Н.В.1, Мамаев А.С.1, Кайгородов А.С.1
1Институт электрофизики УрО РАН, Екатеринбург, Россия
Email: asm@iep.uran.ru
Поступила в редакцию: 9 июня 2008 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2008 г.

Аморфные углеводородные покрытия получены разложением ацетилена в несамостоятельном импульсно-периодическом (2 A, 50 kHz, 10 mus) разряде с полым катодом, горение которого поддерживалось эмиссией плазменного катода с сеточной стабилизацией на основе тлеющего разряда постоянного тока. Метод позволяет в широких пределах варьировать такие условия осаждения a-C : H покрытий, как полное давление газовой смеси (Ar+C2H2), парциальное давление C2H2, плотность ионного тока и энергию ионов углерода, а также равномерно наносить покрытия на большие площади и проводить в едином цикле с осаждением покрытия ионную очистку образцов и иммерсионную ионную имплантацию для повышения адгезионной прочности соединения покрытия с основой (Ti, Al, нержавеющая сталь, твердый сплав ВК8) при температурах ниже 150oC. Приведены результаты измерения скорости осаждения (1-8 mum/h) и нанотвердости покрытий (до 70 GPa), а также доли sp3-связей в покрытии (25-70%). PACS: 52.50.Dg, 52.77.Dq
  1. Ferrari A.C., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2000. V. 61. N 20. P. 14095
  2. Casaraghi C., Ferrari A.C., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2005. V. 72. P. 085401
  3. Визирь А.В., Окс Е.М., Щанин П.М., Юшков Г.Ю. // ЖТФ. 1997. Т. 67. В. 6. С. 27
  4. Гаврилов Н.В., Емлин Д.Р., Каменетских А.С. // Изв. вузов. Физика. 2007. Т. 50. N 9. С. 149
  5. Фролов С., Минайчев В.Е., Александрова А.Т. и др. // Вакуумная техника: Справочник. М.: Машиностроение, 1992. 480 с
  6. Grill A. // IBM J. Res. Develop. 1999. V. 43. N 1/2. P. 147
  7. Trakhtenberg I.Sh., Uemura K., Gontar A. et al. // Diamond \& Related Materials. 2003. V. 12. P. 1788
  8. Oliver W., Pharr G. // J. Mater. Res. 1992. V. 7. N 6. P. 1564

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.