Аморфные углеводородные покрытия получены разложением ацетилена в несамостоятельном импульсно-периодическом (2 A, 50 kHz, 10 mus) разряде с полым катодом, горение которого поддерживалось эмиссией плазменного катода с сеточной стабилизацией на основе тлеющего разряда постоянного тока. Метод позволяет в широких пределах варьировать такие условия осаждения a-C : H покрытий, как полное давление газовой смеси (Ar+C₂H₂), парциальное давление C₂H₂, плотность ионного тока и энергию ионов углерода, а также равномерно наносить покрытия на большие площади и проводить в едином цикле с осаждением покрытия ионную очистку образцов и иммерсионную ионную имплантацию для повышения адгезионной прочности соединения покрытия с основой (Ti, Al, нержавеющая сталь, твердый сплав ВК8) при температурах ниже 150^oC. Приведены результаты измерения скорости осаждения (1-8 mum/h) и нанотвердости покрытий (до 70 GPa), а также доли sp³-связей в покрытии (25-70%). PACS: 52.50.Dg, 52.77.Dq

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.