Вышедшие номера
Влияние газа-носителя на процесс газотранспортной эпитаксии нитрида галлия из металлорганических соединений
Лундин В.В.1, Заварин Е.Е.1, Сизов Д.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: lundin.vpegroup@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 3 ноября 2004 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2005 г.

Исследовано влияние водорода и азота на скорости роста и травления нитрида галлия при эпитаксии из металлорганических соединений. На основании полученных результатов высказаны предположения о роли водорода и азота в процессах, протекающих на поверхности эпитаксиального слоя.