Вышедшие номера
Конденсаторные структуры на основе пленок титаната стронция
Тумаркин А.В.1, Гайдуков М.М.1, Разумов С.В.1, Гагарин А.Г.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: Avtumarkin@yandex.ru
Выставление онлайн: 19 апреля 2012 г.

Исследованы структурные свойства пленок титаната стронция и электрофизические параметры конденсаторов на их основе. Установлено, что температура осаждения оказывает прямое влияние на фазовый состав пленок, совершенство кристаллической структуры, внутренние напряжения в решетке. Пленки титаната стронция, осажденные при температуре 800oC, являются однофазными, имеют достаточно совершенную кристаллическую структуру и минимальные внутренние напряжения. Показано, что конденсаторные структуры на основе ориентированных пленок титаната стронция обеспечивают двукратное уменьшение уровня диэлектрических потерь по сравнению с аналогичными структурами на основе пленок из твердого раствора титаната бария-стронция на частоте 1.5 GHz. Работа выполнена в рамках государственных контрактов N 02.740.11.0231; 02.740.11.0465; П 1233; П 689; П 909; П 628 и при поддержке АВЦП "Развитие научного потенциала высшей школы" N 2.1.2/9994.
  1. S.V. Razumov, A.V. Tumarkin, M.M. Gaidukov, A.G. Gagarin, A.B. Kozyrev, O.G. Vendik, A.V. Ivanov, O.U. Buslov, V.N. Keys L.C. Sengupta, X. Zhang. Appl. Phys. Lett. 81, 9, 1675 (2002)
  2. A. Ivanov, O. Soldatenkov, A. Tumarkin, A. Gagarin, A. Kozyrev. Frequenz J. RF-Eng. Telecommun. 1, 27 (2005)
  3. Т.Б. Самойлова, А.Б. Козырев, А.В. Тумаркин, А.М. Николаенко, А.Г. Гагарин. ЖТФ 75, 10, 85 (2005)
  4. O.Yu. Buslov, C.-Y. Kang, V.N. Keis, I.V. Kotelnikov, A.Yu. Shimko, M.F. Ivanova, A.V. Tumarkin, S.F. Karmanenko, A.B. Kozyrev. Integrated Ferroelectrics 86, 1, 171 (2006)
  5. A.B. Kozyrev, V.N. Osadchy, D.M. Kosmin, A.V. Tumarkin, T. Kaydanova, D. Ginley. Appl. Phys. Lett. 91, 022 905 (2007)
  6. М.М. Гайдуков, А.Г. Гагарин, А.Б. Козырев, С.В. Разумов, А.В. Тумаркин, А.Г. Алтынников. Письма в ЖТФ 34, 13, 50 (2008)
  7. А. Козырев, А. Иванов, О. Солдатенков, Е. Гольман, А. Прудан, В. Логинов. Письма в ЖТФ, 25, 20, 45 (1999)
  8. V.E. Loginov, A.V. Tumarkin, M.V. Sysa, O.U. Buslov, M.M. Gaidukov, A.I. Ivanov, A.B. Kozyrev. Integrated Ferroelectrics 39, 375 (2001)
  9. А.М. Прудан, Е.К. Гольман, А.Б. Козырев, А.А. Козлов, В.Л. Логинов. Письма в ЖТФ 24, 9, 678 (1998)
  10. А.М. Прудан, Е.К. Гольман, А.Б. Козырев, А.А. Козлов, В.Е. Логинов, А.В. Земцов. ФТТ 40, 8, 1473 (1998)
  11. А.Г. Алтынников, М.М. Гайдуков, А.Г. Гагарин, А.В. Тумаркин. Изв. вузов. Радиоэлектроника 3, 67 (2008)
  12. А.М. Прудан, Е.К. Гольман, А.Б. Козырев, Р.Н. Кютт, В.Е. Логинов. ФТТ 39, 6, 1342 (1997)
  13. А.Б. Козырев, М.М. Гайдуков, А.Г. Гагарин, А.Г. Алтынников, С.В. Разумов, А.В. Тумаркин. Письма в ЖТФ 35, 13, 1 (2009)
  14. A. Kozyrev, M. Gaidukov, F. Gagarin, A. Altynnikov, A. Tumarkin, N. Alford, P. Petrov. J. Appl. Phys. 106, 014 108 (2009)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.