Методом магнетронного распыления получены аморфные пленки Tb₃₀Fe₆₀Co₁₀. Исследованы зависимости микроструктуры и магнитных свойств этих пленок от типа и давления газа в камере распыления. Для экспериментов применялись газы Ar, Kr, и Xe в области давлений в камере распыления от 0.01 до 4 Ра. Установлено, что при распылении в тяжелом газе (Kr) в исследованном диапазоне давлений невозможно получить пленки TbFeCo с осью легкого намагничивания, перпендикулярной плоскости пленок. При использовании Xe в области давлений ниже 1.0 Ра в пленках TbFeCo наблюдается увеличение коэрцитивности, и форма петли гистерезиса приближается к прямоугольной. При распылении и осаждении в среде Ar при давлении ~0.67 Pa получены аморфные пленки Tb₃₀Fe₆₀Co₁₀ с магнитными характеристиками, удовлетворяющими требованиям к носителям информации с перпендикулярным типом записи. Таким образом, показано, что методом магнетронного распыления в атмосфере Ar при давлениях менее 1 Ра можно получить аморфные пленки Tb₃₀Fe₆₀Co₁₀ для магнитооптической записи информации со сверхвысокой плотностью.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.