Издателям
Вышедшие номера
Зависимость микроструктуры и магнитных свойств аморфных пленок TbFeCo от типа и давления газа при распылении
Камзин А.С.1, Ганеев В.Р.2, Зарипова Л.Д.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Казанский (Приволжский) федеральный университет, Казань, Россия
Email: kamzin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 16 января 2012 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2012 г.

Методом магнетронного распыления получены аморфные пленки Tb30Fe60Co10. Исследованы зависимости микроструктуры и магнитных свойств этих пленок от типа и давления газа в камере распыления. Для экспериментов применялись газы Ar, Kr, и Xe в области давлений в камере распыления от 0.01 до 4 Ра. Установлено, что при распылении в тяжелом газе (Kr) в исследованном диапазоне давлений невозможно получить пленки TbFeCo с осью легкого намагничивания, перпендикулярной плоскости пленок. При использовании Xe в области давлений ниже 1.0 Ра в пленках TbFeCo наблюдается увеличение коэрцитивности, и форма петли гистерезиса приближается к прямоугольной. При распылении и осаждении в среде Ar при давлении ~0.67 Pa получены аморфные пленки Tb30Fe60Co10 с магнитными характеристиками, удовлетворяющими требованиям к носителям информации с перпендикулярным типом записи. Таким образом, показано, что методом магнетронного распыления в атмосфере Ar при давлениях менее 1 Ра можно получить аморфные пленки Tb30Fe60Co10 для магнитооптической записи информации со сверхвысокой плотностью.
  • H. Saga, H. Nemoto, H. Sukeda, M. Takahashi. Jpn. J.Appl. Phys. 38, 1839 (1999)
  • S. Iwasaki, Y. Nakamura. IEEE Trans. Magn. 13, 5, 1272 (1977)
  • M.A. Bashir, T. Schrefl, J. Dean, A. Goncharov, G. Hrkac, D.A. Allwood, D. Suess. J. Magn. Magn. Mater. 324, 269 (2012)
  • Fumiko Akagi, Masaki Mukoh, Masafumi Mochizuki, Junko Ushiyama, Takuya Matsumoto, Harukazu Miyamoto. J. Magn. Magn. Mater. 324, 309 (2012)
  • S. Li, Y. Ishihara, X. Liu, A. Morisako. Abstracts of the Perpendicular Magnetic Recording Conf. Japan (2010). 18aD-18
  • Xiaoxi Liu, Akimitsu Morisako. J. Magn. Magn. Mater. 303, e277 (2006)
  • Y. Fujiwara, T. Masaki, X. Yu, M. Sakurai, S. Tsunashima, S. Iwata, K. Suzuki. Jpn. J. Appl. Phys. 36, 5097 (1997)
  • Yukiko Kubota, Xiaowei Wu, Ganping Ju. J. Magn. Magn. Mater. 310, 2665 (2007)
  • M. Tofizur Rahman, Xiaoxi Liu, Mitsunori Matsumoto, Akimitsu Morisako. J. Appl. Phys. 97, 10C515 (2005)
  • S. Miyanishi, K. Kojima, J. Sato, J. Takayama, H. Fuji, A. Takahashi, K. Ohta. J. Appl. Phys. 93, 7801 (2003)
  • F. Richomme, J. Teillet, D.T. Huong Giang, N.H. Duc. J. Magn. Magn. Mater. 272--276, 2086 (2004)
  • А.С. Камзин, Akimitsu Morisako, Xiaoxi Liu. Письма в ЖТФ 34, 23, 21 (2008)
  • А.С. Камзин, Л.А. Григорьев, А.Б. Шерман, И.С. Бараш. СФXТ 6, 64 (1993)
  • B.C. Русаков. Изв. РАН. Cер. физ. 63, 7, 1093 (1999)
  • M. Viret, D. Vignoles, D. Cole, J.M.D. Coey, W. Allen, D.S. Daniel. J.F. Gregg. Phys. Rev. B 53, 8464 (1996)
  • T.M. Danh, T.M. Duc, H.N. Thanh, J. Teillet. J. Appl Phys 87, 7208 (2000)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.