Вышедшие номера
Термохимическая нитридизация подложек сапфира различных кристаллографических ориентаций
Нижанковский С.В.1, Крухмалёв А.А.1, Калтаев Х.Ш.-оглы1, Сидельникова Н.С.1, Будников А.Т.1, Ткаченко В.Ф.1, Добротворская М.В.1, Вовк Е.А.1, Кривоногов С.И.1, Адонкин Г.Т.1
1Институт монокристаллов Национальной академии наук Украины, Харьков, Украина
Email: nizhankovsky@yandex.ru
Поступила в редакцию: 29 февраля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2012 г.

Представлены результаты исследований влияния физико-химических параметров термохимической нитридизации подложек сапфира различных кристаллографических ориентаций в восстановительной атмосфере N2 + (СО,Н2) на структурные характеристики, состав и кинетику формирования слоев AlN. Определены эффективные коэффициенты диффузии азота в сапфире при T=1473-1773 K. Установлены температурные зависимости структурного совершенства, толщины и шероховатости поверхности слоев AlN, показана их существенная зависимость от состава и восстановительного потенциала атмосферы нитридизации. Предложены структурные модели согласования кристаллических решеток AlN и сапфира при термохимической нитридизации.