Вышедшие номера
Термохимическая нитридизация подложек сапфира различных кристаллографических ориентаций
Нижанковский С.В.1, Крухмалёв А.А.1, Калтаев Х.Ш.-оглы1, Сидельникова Н.С.1, Будников А.Т.1, Ткаченко В.Ф.1, Добротворская М.В.1, Вовк Е.А.1, Кривоногов С.И.1, Адонкин Г.Т.1
1Институт монокристаллов НАН Украины, Харьков, Украина
Email: nizhankovsky@yandex.ru
Поступила в редакцию: 29 февраля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2012 г.

Представлены результаты исследований влияния физико-химических параметров термохимической нитридизации подложек сапфира различных кристаллографических ориентаций в восстановительной атмосфере N2 + (СО,Н2) на структурные характеристики, состав и кинетику формирования слоев AlN. Определены эффективные коэффициенты диффузии азота в сапфире при T=1473-1773 K. Установлены температурные зависимости структурного совершенства, толщины и шероховатости поверхности слоев AlN, показана их существенная зависимость от состава и восстановительного потенциала атмосферы нитридизации. Предложены структурные модели согласования кристаллических решеток AlN и сапфира при термохимической нитридизации.
  1. F.A. Ponce, D.P. Bour. Nature 386, 351 (1997)
  2. M. Khan, A. Bhattarai, J. Kuznia, D. Olson. Appl. Phys. Lett. 63, 1214 (1993)
  3. S. Nakamura. Jpn. J. Appl. Phys. 30, L1705 (1991)
  4. H. Amano, N. Sawaki, I. Akasaki, Y. Toyoda. Appl. Phys. Lett. 48, 353 (1986)
  5. V. Soukhoveev, A. Volkova, V. Ivantsov, O. Kovalenkov, A. Syrkin, A. Usikov. Phys. status Solidi C 6, 333 (2009)
  6. H. Fukuyama, S. Kusunoki, A. Nakomori, K. Hiraga. J. Appl. Phys. 100, 024 905 (2006)
  7. T. Nagashima, M. Harada, H. Yanagi, H. Fukuyama, Y. Kumagai, A. Koukitu, K. Takada. J. Cryst. Growth 305, 355 (2007)
  8. M. Adachi, K. Maeda, A. Tanaka, H. Kobatake, H. Fukuyama. Phys. Status Solidi A 208, 1494 (2011)
  9. K. Ueno, J. Ohta, H. Fujioka, H. Fukuyama. Appl. Phys. Express 4, 015 501 (2011)
  10. Х.Ш.-о. Калтаев, Н.С. Сидельникова, С.В. Нижанковский, А.Я. Данько, М.А. Ром, П.В. Матейченко, М.В. Добротворская, А.Т. Будников. ФТП 43, 1650 (2009)
  11. J. Wu, Y. Katagiri, K. Okuura, D. Li, H. Miyake, K. Hiramatsu. J. Cryst. Growth 311, 3801 (2009)
  12. T. Paskova, V. Darakchieva, P.P. Paskov, J. Birch, E. Valcheva, P.O.A. Persson, B. Arnaudov, S. Tungasmitta, B. Monemar. J. Cryst. Growth 281, 55 (2006)
  13. Z. Liliental-Weber, J. Yasinski, D.N. Zaharov. Opto-Electron. Rev. 12, 339 (2004)
  14. В.Ф. Ткаченко, М.А. Ром, А.А. Бибиченко, В.И. Кузнецов. ПТЭ 2, 277 (1992)
  15. J. Meinschien, F. Falk, R. Hergt, H. Stafast. Appl. Phys. A 70, 215 (2000)
  16. L. Lahourcade, E. Bellet-Amalric, E. Monroy. Appl. Phys. Lett. 90, 131 909 (2007)
  17. Kh.Sh.-ogly Kaltaev, S.V. Nizhankovskiy, N.S. Sidelnikova, M.A. Rom, A.Ya. Dan'ko, M.V. Dobrotvorskaya, A.E. Belyayev, V.V. Strelchuk, A.F. Kolomys. Functional Mater. 18, 83 (2011)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.