Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Термохимическая нитридизация подложек сапфира различных кристаллографических ориентаций
1Институт монокристаллов Национальной академии наук Украины, Харьков, Украина 
Email: nizhankovsky@yandex.ru
Поступила в редакцию: 29 февраля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2012 г.
Представлены результаты исследований влияния физико-химических параметров термохимической нитридизации подложек сапфира различных кристаллографических ориентаций в восстановительной атмосфере N2 + (СО,Н2) на структурные характеристики, состав и кинетику формирования слоев AlN. Определены эффективные коэффициенты диффузии азота в сапфире при T=1473-1773 K. Установлены температурные зависимости структурного совершенства, толщины и шероховатости поверхности слоев AlN, показана их существенная зависимость от состава и восстановительного потенциала атмосферы нитридизации. Предложены структурные модели согласования кристаллических решеток AlN и сапфира при термохимической нитридизации.
- F.A. Ponce, D.P. Bour. Nature 386, 351 (1997)
- M. Khan, A. Bhattarai, J. Kuznia, D. Olson. Appl. Phys. Lett. 63, 1214 (1993)
- S. Nakamura. Jpn. J. Appl. Phys. 30, L1705 (1991)
- H. Amano, N. Sawaki, I. Akasaki, Y. Toyoda. Appl. Phys. Lett. 48, 353 (1986)
- V. Soukhoveev, A. Volkova, V. Ivantsov, O. Kovalenkov, A. Syrkin, A. Usikov. Phys. status Solidi C 6, 333 (2009)
- H. Fukuyama, S. Kusunoki, A. Nakomori, K. Hiraga. J. Appl. Phys. 100, 024 905 (2006)
- T. Nagashima, M. Harada, H. Yanagi, H. Fukuyama, Y. Kumagai, A. Koukitu, K. Takada. J. Cryst. Growth 305, 355 (2007)
- M. Adachi, K. Maeda, A. Tanaka, H. Kobatake, H. Fukuyama. Phys. Status Solidi A 208, 1494 (2011)
- K. Ueno, J. Ohta, H. Fujioka, H. Fukuyama. Appl. Phys. Express 4, 015 501 (2011)
- Х.Ш.-о. Калтаев, Н.С. Сидельникова, С.В. Нижанковский, А.Я. Данько, М.А. Ром, П.В. Матейченко, М.В. Добротворская, А.Т. Будников. ФТП 43, 1650 (2009)
- J. Wu, Y. Katagiri, K. Okuura, D. Li, H. Miyake, K. Hiramatsu. J. Cryst. Growth 311, 3801 (2009)
- T. Paskova, V. Darakchieva, P.P. Paskov, J. Birch, E. Valcheva, P.O.A. Persson, B. Arnaudov, S. Tungasmitta, B. Monemar. J. Cryst. Growth 281, 55 (2006)
- Z. Liliental-Weber, J. Yasinski, D.N. Zaharov. Opto-Electron. Rev. 12, 339 (2004)
- В.Ф. Ткаченко, М.А. Ром, А.А. Бибиченко, В.И. Кузнецов. ПТЭ 2, 277 (1992)
- J. Meinschien, F. Falk, R. Hergt, H. Stafast. Appl. Phys. A 70, 215 (2000)
- L. Lahourcade, E. Bellet-Amalric, E. Monroy. Appl. Phys. Lett. 90, 131 909 (2007)
- Kh.Sh.-ogly Kaltaev, S.V. Nizhankovskiy, N.S. Sidelnikova, M.A. Rom, A.Ya. Dan'ko, M.V. Dobrotvorskaya, A.E. Belyayev, V.V. Strelchuk, A.F. Kolomys. Functional Mater. 18, 83 (2011)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
