Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2026
- 1 2 3 4 5
2025
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Особенности сверхбыстрой лазерной абляции нанопленок титана на стеклянной и кремниевой подложках

Российский научный фонд , 24-19-00311

Ашитков С.И.¹, Струлева Е.В.¹, Комаров П.С.¹, Евлашин С.А.², Чефонов О.В.¹

¹ФГБУН Объединенный институт высоких температур РАН (ОИВТ РАН), Москва, Россия
²Сколковский институт науки и технологий, Москва, Россия Skolkovo Institute of Science and Technology, Moscow, Russia

Skolkovo Institute of Science and Technology, Moscow, Russia

Поступила в редакцию: 20 марта 2026 г.

В окончательной редакции: 14 мая 2026 г.

Принята к печати: 26 мая 2026 г.

Выставление онлайн: 27 июня 2026 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Методом интерференционной и сканирующей электронной микроскопии исследованы особенности абляции нанопленок Ti на стеклянных и кремниевых подложках при воздействии лазерных импульсов длительностью 70 fs в одноимпульсном режиме на воздухе. Измерены значения порогов откольной и фрагментационной абляции по поглощенной плотности энергии, исследована зависимость структуры и глубины кратеров от плотности энергии импульсов для пленок различной толщины. Для образцов толщиной 27 и 150 nm продемонстрирована возможность частичного удаления верхнего слоя минимальной толщины 11-15 nm в режиме откольной абляции. Ключевые слова: фемтосекундный импульс, титан, тонкие пленки, абляция.

K.C. Phillips, H.H. Gandhi, E. Mazur, S.K. Sundram. Adv. Opt. Photonics 7, 4, 684 (2015)
А.А. Ионин, С.И. Кудряшов, А.А. Самохин. УФН 187, 2, 159 (2017)
С.А. Ромашевский, В.А. Хохлов, С.И. Ашитков, В.В. Жаховский, Н.А. Иногамов, П.С. Комаров, А.Н. Паршиков, Ю.В. Петров, Е.В. Струлева, П.А. Цыганков. Письма в ЖЭТФ 113, 5, 311 (2021)
V. Zhakhovsky, Yu. Kolobov, S. Ashitkov, N. Inogamov, I. Nelasov, S. Manokhin, V. Khokhlov, D. Ilnitsky, Yu. Petrov, A. Ovchinnikov, O. Chefonov, D. Sitnikov. Phys. Fluids 35, 9, 096104 (2023)
С.И. Анисимов, Б.С. Лукьянчук. УФН 172, 3, 301 (2002)
Н.А. Иногамов, В.В. Жаховский, С.И. Ашитков, Ю.В. Петров, М.Б. Агранат, С.И. Анисимов, К. Нишихара, В.Е. Фортов. ЖЭТФ 134, 1, 5 (2008)
С.И. Ашитков, П.С. Комаров, А.В. Овчинников, Е.В. Струлева, В.В. Жаховский, Н.А. Иногамов, М.Б. Агранат. Квантовая электроника 44, 6, 535 (2014)
И.А. Артюков, Д.А. Заярный, А.А. Ионин, С.И. Кудряшов, С.В. Макаров, П.Н. Салтуганов. Письма в ЖЭТФ 99, 1, 54 (2014)
М.М. Барышева, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало. УФН 182, 7, 727 (2012)
A.A. Bukharaev, A.K. Zvezdin, A.P. Pyatakov, Yu.K. Fetisov. UFN 188, 12, 1288 (2018)
T.V. Basova, E.S. Vikulova, S.I. Dorovskikh, A. Hassan, N.B. Morozova. Mater. Des. 204, 109672 (2021)
Н.М. Лядов, В.В. Базаров, И.Р. Вахитов, А.И. Гумаров, Ш.З. Ибрагимов, Д.М. Кузина, И.А. Файзрахманов, Р.И. Хайбуллин, В.А. Шустов. ФТТ 63, 10, 1687 (2021)
M. Sharma, P. Kumar, А.В. Иржак, S. Kumar, R. Pratap, С.В. фон Гратовски, В.Г. Шавров, В.В. Коледов. ФТТ 62, 6, 880 (2020)
S.M. Petrovic, B. Gakovic, D. Peruvcko, T. Desai, D. Batani, M. vCekada, B. Radak, M. Trtica. Laser Phys. 19, 8, 1844 (2009)
M. Olbrich, E. Punzel, R. Roesch, R. Oettking, B. Muhsin, H. Hoppe, A. Horn. Appl. Phys. A 122, 3, 215 (2016)
T. Pflug, J. Wang, M. Olbrich, M. Frank, A. Horn. Appl. Phys. A 124, 2, 116 (2018)
R.D. Murphy, B. Torralva, S.M. Yalisove. Appl. Phys. Lett. 102, 181602 (2013)
B. Gakovic, G.D. Tsibidis, E. Skoulas, S.M. Petrovic, B. Vasic, E. Stratakis. J. Appl. Phys. 122, 223106 (2017)
Е.В. Кузьмин, А.В. Клековкин. Оптика и спектроскопия 130, 4, 517 (2022)
С.Ю. Лукашенко, А.А. Фроня, Е.И. Маврешко, М.С. Григорьева, Д.С. Иванов, И.Н. Завестовская. ФТТ 67, 12, 2425 (2025)
J.M. Liu. Opt. Lett. 7, 5, 196 (1982)
А.А. Ионин, С.И. Кудряшов, Л.В. Селезнев, Д.В. Синицын, А.Ф. Бункин, В.Н. Леднев, С.М. Першин. ЖЭТФ 143, 3, 403 (2013)
J. Bonse, K.-W. Brzezinka, A.J. Meixner. Appl. Surf. Sci. 221, 215 (2004)
Физические величины. Справочник. / Под редакцией И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. Энергоатомиздат, М. (1991) 1232 с
V.A. Khokhlov, N.A. Inogamov, V.V. Zhakhovsky, V.V. Shepelev, D.K. Ilnitsky. J. Phys.: Conf. Ser. 653, 012003 (2015)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель