Вышедшие номера
Диэлектрические свойства гетероэпитаксиальных пленок SrTiO3(111)/Al2O3(001)
Павленко А.В. 1,2, Назаренко А.В. 1, Стрюков Д.В. 1, Мололкин А.А.3, Емелин Е.В.3, Чиркова Д.В.1, Павленко Д.С.2
1Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
2Научно-исследовательский институт физики Южного федерального университета, Ростов-на-Дону, Россия
3Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Email: antvpr@mail.ru, nazarav@ssc-ras.ru, strdl@mail.ru
Поступила в редакцию: 2 марта 2026 г.
В окончательной редакции: 20 апреля 2026 г.
Принята к печати: 29 апреля 2026 г.
Выставление онлайн: 2 июня 2026 г.

Проведены исследования кристаллической структуры и свойств гетероэпитаксиально выращенных на подложке Al2O3(001) пленок SrTiO3 толщиной ~600 nm. Установлено, что в пленке SrTiO3 имеет место сжимающая деформация элементарной ячейки (~1 %) в плоскости сопряжения и практически отсутствует деформации в направлении нормали к поверхности подложки. При анализе за счет сформированной встречно-штыревой планарной конденсаторной структуры на поверхности SrTiO3(111)/Al2O3(001) диэлектрических и сегнетоэлектрических характеристик установлено, что в пленке STO наблюдаются аномалии в поведении ε(T,f) и tgδ(T,f) в окрестностях ~298 K, ~230 K, ~182 K и ~115 K. Обсуждаются причины выявленных закономерностей. Ключевые слова: тонкие пленки, диэлектрические характеристики, гетероэпитаксия, STO.
  1. H. Wei, C. Yang, Y. Wu, B. Cao, M. Lorenz, M. Grundmann. Journal of Materials Chemistry C 8, 44, 15575 (2020)
  2. L.W. Martin, A.M. Rappe. Nature Reviews Materials 2, 2, 16087 (2016)
  3. Е.Г. Фесенко. Семейство перовскита и сегнетоэлектричество. Атомиздат, М. (1972). 248 с
  4. К.А. Воротилов, В.М. Мухортов, А.С. Сигов. Интегрированные сегнетоэлектрические устройства. Энергоатомиздат, М. (2011). 175 с
  5. A. Fernandez, M. Acharya, H-G. Lee, J. Schimpf, Y. Jiang, D. Lou, Z. Tian, and L.W. Martin. Advanced materials 34, 30, 2108841 (2022)
  6. J.H. Haeni, P. Irvin, W. Chang, R. Uecker, P. Reiche, Y.L. Li, S. Choudhury, W. Tian, M.E. Hawley, B. Craigo, A.K. Tagantsev, X.Q. Pan, S.K. Streiffer, L.Q. Chen, S.W. Kirchoefer, J. Levy, D.G. Schlom. Nature 430, 758 (2004)
  7. В.Б. Широков, Ю.И. Юзюк, В.В. Леманов. Феноменологическое описание тонких пленок SrTiO3. Физика твердого тела 51, 5, 972 (2009)
  8. А.И. Лебедев. Фазовые переходы и метастабильные состояния в напряженных пленках SrTiO3. Физика твердого тела 58, 2, 291 (2016)
  9. N.A. Pertsev, A.K. Tagantsev, N. Setter. Physical Review B 61, 2, R825 (2000)
  10. C.P. Anderson, G. Scuri, A. Chan, S. Eun, A.D. White, G.H. Ahn, C. Jilly, A. Safavi-Naeini, K. Van Gasse, J. Vuv ckovic. Science 390, 6771, 394 (2025)
  11. А.В. Павленко, Д.В. Стрюков, К.М. Жидель, Я.Ю. Матяш, П.А. Шишкина, М.С. Чумак. Журнал технической физики 94, 10, 1695 (2024)
  12. А.В. Павленко, С.П. Зинченко, Д.В. Стрюков, А.П. Ковтун. Наноразмерные пленки ниобата бария-стронция: особенности получения в плазме высокочастотного разряда, структура и физические свойства. Издательство ЮНЦ РАН, Ростов-на-Дону (2022). 242 с
  13. R. Mitchell, A. Chakhmouradian, P. Woodward. Phys Chem Min 27, 583 (2000)
  14. H.N. AL-Shareef, D. Dimos, M.V. Raymond, R.W. Schwartz. Journal of Electroceramics 1, 2, 145 (1997)
  15. Ю.А. Бойков, В.А. Данилов. Физика твердого тела 61, 3, 594 (2019)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.