Транспортные и магнитотранспортные свойства тонких пленок оксинитрида титана, легированных медью, полученных методом атомно-слоевого осаждения
Шанидзе Л.В.1, Рауцкий М.В.1, Коновалов С.О.2, Зеленов Ф.В.2, Тарасов А.С.1
1Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук --- обособленное подразделение ФИЦ КНЦ СО РАН, Красноярск, Россия
2АО "НПП Радиосвязь", Красноярск, Россия
Поступила в редакцию: 10 ноября 2025 г.
В окончательной редакции: 10 ноября 2025 г.
Принята к печати: 23 марта 2026 г.
Выставление онлайн: 2 июня 2026 г.
Исследованы низкотемпературные магнитотранспортные свойства тонких пленок оксинитрида титана, легированных медью, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения. Выполнение правила Муиджи, а также магнитотранспортные свойства указывают на то, что пленки TiNxOy могут являться разновидностью металлического стекла. Расширение температурного диапазона измерения удельного сопротивления позволило наблюдать как переход из полуметаллического в неупорядоченное состояние с электронным транспортом, регулируемым эффектами квантовой интерференции, ниже 44 K, так и затем вероятный переход из неупорядоченного в сверхпроводящее состояние при дальнейшем охлаждении ниже 4.2 K для пленки, имеющей наибольшее содержание меди среди всех наших образцов. Ключевые слова: атомно-слоевое осаждение, оксинитриды титана, транспортные свойства, сверхпроводимость.
- H.G. Leduc, B. Bumble, P.K. Day, B.H. Eom, J. Gao, S. Golwala, B.A. Mazin, S. McHugh, A. Merrill, D.C. Moore, O. Noroozian, A.D. Turner, J. Zmuidzinas. Appl. Phys. Lett. 97, 102509 (2010)
- J.B. Chang, M.R. Vissers, A.D. Corcoles, M. Sandberg, J. Gao, D.W. Abraham, J.M. Chow, J.M. Gambetta, M. Rothwell, G.A. Keefe, M. Steffen, D.P. Pappas. Appl. Phys. Lett. 103, 012602 (2013)
- F. Li, O. Dicks, M.G. Han, S. Aamlid, G. Levy, R. Sutarto, C. Liu, H.H. Kung, O. Foyevstov, S. Godin, B.A. Davidson, A. Damascelli, Y. Zhu, C. Heil, I. Elfimov, G.A. Sawatzky, K. Zou. Critical Role of Disorder for Superconductivity in the Series of Epitaxial Ti(O,N) Films (2024) --- https://doi.org/10.48550/arXiv.2310.03170
- J. Goupy, P. Djemia, S. Pouget, L. Belliard, G. Abadias, J.C. Villegier, J.L. Sauvageot, C. Pigot. Surf. Coat. Technol. 237, 196 (2013)
- A. Shearrow, G. Koolstra, S.J. Whiteley, N. Earnest, P.S. Barry, F.J. Heremans, D.D. Awschalom, E. Shirokoff, D.I. Schuster. Appl. Phys. Lett. 113, 212601 (2018)
- F.A. Baron, Y.L. Mikhlin, M.S. Molokeev, M.V. Rautskiy, I.A. Tarasov, M.N. Volochaev, L.V. Shanidze, A.V. Lukyanenko, T.E. Smolyarova, S.O. Konovalov, F.V. Zelenov, A.S. Tarasov, N.V. Volkov. ACS Appl. Mater. Interfaces 13, 27, 32531 (2021)
- Ф.А. Барон, Л.В. Шанидзе, М.В. Рауцкий, Ю.Л. Михлин, А.В. Лукьяненко, С.О. Коновалов, Ф.В. Зеленов, П.В. Швец, А.Ю. Гойхман, Н.В. Волков, А.С. Тарасов. ПЖТФ 48, 20, 39 (2022)
- J. Chappe, N. Martin, J. Lintymer, F. Sthal, G. Terwagne, J. Takadoum. Appl. Surf. Sci. 253, 12, 5312 (2007)
- F. Chen, S. Wang, L. Yu, X. Chen, W. Lu. Opt. Mater. Express 4, 9, 1833 (2014)
- S. Iwashita, S. Aoyama, M. Nasu, K. Shimomura, N. Noro, T. Hasegawa, Y. Akasaka, K. Miyashita. J. Vac. Sci. Technol. A 34, 1, 01A145 (2016)
- B.O. Johansson, J.E. Sundgren, J.E. Greene, A. Rockett, S.A. Barnett. J. Vac. Sci. Technol. A 3, 2, 303 (1985)
- J. Narayan, P. Tiwari, X. Chen, J. Singh, R. Chowdhury, T. Zheleva. Appl. Phys. Lett. 61, 11, 1290 (1992)
- X. Yang, Y. Lin, J. Liu, W. Liu, Q. Bi, X. Song, J. Kang, F. Xu, L. Xu, M.N. Hedhili, D. Baran, X. Zhang, T.D. Anthopoulos, S. De Wolf. Adv. Mater. 32, 32, 2002608 (2020)
- J.H. Mooij. Phys. Status Solidi A 17, 521 (1973)
- S. Ciuchi, D. Di Sante, V. Dobrosavljevic, S. Fratini. npj Quantum Mater. 3, 44 (2018)
- P.A. Lee, T.V. Ramakrishnan. Rev. Mod. Phys. 57, 2, 287 (1985)
- K. Maki. Prog. Theor. Phys. 40, 2, 193 (1968)
- R.S. Thompson. Phys. Rev. B 1, 1, 327 (1970)
- Б.Л. Альтшулер, А.Г. Аронов, А.И. Ларкин, Д.Э. Хмельницкий. ЖЭТФ 81, 2, 768 (1981)
- J.B. Bieri, A. Fert, G. Creuzet, J.C. Ousset. Solid State Commun. 49, 9, 849 (1984)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.