Вышедшие номера
Транспортные и магнитотранспортные свойства тонких пленок оксинитрида титана, легированных медью, полученных методом атомно-слоевого осаждения
Шанидзе Л.В.1, Рауцкий М.В.1, Коновалов С.О.2, Зеленов Ф.В.2, Тарасов А.С.1
1Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук --- обособленное подразделение ФИЦ КНЦ СО РАН, Красноярск, Россия
2АО "НПП Радиосвязь", Красноярск, Россия
Поступила в редакцию: 10 ноября 2025 г.
В окончательной редакции: 10 ноября 2025 г.
Принята к печати: 23 марта 2026 г.
Выставление онлайн: 2 июня 2026 г.

Исследованы низкотемпературные магнитотранспортные свойства тонких пленок оксинитрида титана, легированных медью, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения. Выполнение правила Муиджи, а также магнитотранспортные свойства указывают на то, что пленки TiNxOy могут являться разновидностью металлического стекла. Расширение температурного диапазона измерения удельного сопротивления позволило наблюдать как переход из полуметаллического в неупорядоченное состояние с электронным транспортом, регулируемым эффектами квантовой интерференции, ниже 44 K, так и затем вероятный переход из неупорядоченного в сверхпроводящее состояние при дальнейшем охлаждении ниже 4.2 K для пленки, имеющей наибольшее содержание меди среди всех наших образцов. Ключевые слова: атомно-слоевое осаждение, оксинитриды титана, транспортные свойства, сверхпроводимость.
  1. H.G. Leduc, B. Bumble, P.K. Day, B.H. Eom, J. Gao, S. Golwala, B.A. Mazin, S. McHugh, A. Merrill, D.C. Moore, O. Noroozian, A.D. Turner, J. Zmuidzinas. Appl. Phys. Lett. 97, 102509 (2010)
  2. J.B. Chang, M.R. Vissers, A.D. Corcoles, M. Sandberg, J. Gao, D.W. Abraham, J.M. Chow, J.M. Gambetta, M. Rothwell, G.A. Keefe, M. Steffen, D.P. Pappas. Appl. Phys. Lett. 103, 012602 (2013)
  3. F. Li, O. Dicks, M.G. Han, S. Aamlid, G. Levy, R. Sutarto, C. Liu, H.H. Kung, O. Foyevstov, S. Godin, B.A. Davidson, A. Damascelli, Y. Zhu, C. Heil, I. Elfimov, G.A. Sawatzky, K. Zou. Critical Role of Disorder for Superconductivity in the Series of Epitaxial Ti(O,N) Films (2024) --- https://doi.org/10.48550/arXiv.2310.03170
  4. J. Goupy, P. Djemia, S. Pouget, L. Belliard, G. Abadias, J.C. Villegier, J.L. Sauvageot, C. Pigot. Surf. Coat. Technol. 237, 196 (2013)
  5. A. Shearrow, G. Koolstra, S.J. Whiteley, N. Earnest, P.S. Barry, F.J. Heremans, D.D. Awschalom, E. Shirokoff, D.I. Schuster. Appl. Phys. Lett. 113, 212601 (2018)
  6. F.A. Baron, Y.L. Mikhlin, M.S. Molokeev, M.V. Rautskiy, I.A. Tarasov, M.N. Volochaev, L.V. Shanidze, A.V. Lukyanenko, T.E. Smolyarova, S.O. Konovalov, F.V. Zelenov, A.S. Tarasov, N.V. Volkov. ACS Appl. Mater. Interfaces 13, 27, 32531 (2021)
  7. Ф.А. Барон, Л.В. Шанидзе, М.В. Рауцкий, Ю.Л. Михлин, А.В. Лукьяненко, С.О. Коновалов, Ф.В. Зеленов, П.В. Швец, А.Ю. Гойхман, Н.В. Волков, А.С. Тарасов. ПЖТФ 48, 20, 39 (2022)
  8. J. Chappe, N. Martin, J. Lintymer, F. Sthal, G. Terwagne, J. Takadoum. Appl. Surf. Sci. 253, 12, 5312 (2007)
  9. F. Chen, S. Wang, L. Yu, X. Chen, W. Lu. Opt. Mater. Express 4, 9, 1833 (2014)
  10. S. Iwashita, S. Aoyama, M. Nasu, K. Shimomura, N. Noro, T. Hasegawa, Y. Akasaka, K. Miyashita. J. Vac. Sci. Technol. A 34, 1, 01A145 (2016)
  11. B.O. Johansson, J.E. Sundgren, J.E. Greene, A. Rockett, S.A. Barnett. J. Vac. Sci. Technol. A 3, 2, 303 (1985)
  12. J. Narayan, P. Tiwari, X. Chen, J. Singh, R. Chowdhury, T. Zheleva. Appl. Phys. Lett. 61, 11, 1290 (1992)
  13. X. Yang, Y. Lin, J. Liu, W. Liu, Q. Bi, X. Song, J. Kang, F. Xu, L. Xu, M.N. Hedhili, D. Baran, X. Zhang, T.D. Anthopoulos, S. De Wolf. Adv. Mater. 32, 32, 2002608 (2020)
  14. J.H. Mooij. Phys. Status Solidi A 17, 521 (1973)
  15. S. Ciuchi, D. Di Sante, V. Dobrosavljevic, S. Fratini. npj Quantum Mater. 3, 44 (2018)
  16. P.A. Lee, T.V. Ramakrishnan. Rev. Mod. Phys. 57, 2, 287 (1985)
  17. K. Maki. Prog. Theor. Phys. 40, 2, 193 (1968)
  18. R.S. Thompson. Phys. Rev. B 1, 1, 327 (1970)
  19. Б.Л. Альтшулер, А.Г. Аронов, А.И. Ларкин, Д.Э. Хмельницкий. ЖЭТФ 81, 2, 768 (1981)
  20. J.B. Bieri, A. Fert, G. Creuzet, J.C. Ousset. Solid State Commun. 49, 9, 849 (1984)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.