Получены концентрационные зависимости резонансного поля и ширины линии ферромагнитного резонанса (ФМР) при разных углах φ между направлением магнитного поля и плоскостью пленок для двух серий композитных пленок CoFeB/SiO₂, полученных при разных условиях напыления. Пленки первой серии имели в основном гранулированную структуру, а пленки второй серии имели гранулярно-перколяционную структуру, которая при больших концентрациях металлов x включала в себя полосовую магнито-металлическую структуру. Показано, что резонансное поле для пленок обеих серий, уменьшается с ростом концентрации x. Резонансное поле и ширина линии ФМР увеличиваются с ростом угла φ для пленок обеих серий с разной структурой. Продемонстрировано, что метод ФМР является структурно-чувствительным методом исследования композитных пленок. Ключевые слова: композитные металл-диэлектрические пленки, концентрация металлов, структура, ферромагнитный резонанс.