Вышедшие номера
Миграция атомов Si на W(100) при образовании поверхностного силицида вольфрама
Рутьков Е.В.1, Афанасьева Е.Ю.1, Галль Н.Р.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: rutkov@ms.ioffe.ru, afanaseva@ms.ioffe.ru, gall@ms.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 17 июля 2025 г.
В окончательной редакции: 18 июля 2025 г.
Принята к печати: 18 июля 2025 г.
Выставление онлайн: 11 сентября 2025 г.

Методами электронной Оже-спектроскопии и термической десорбции изучена миграция атомов кремния по поверхности W(100) в широкой области покрытий и температур. Показано, что энергия активации миграции меняется от значений Em≥1.8 eV при малых покрытиях до значений Em~0.5 eV при образовании поверхностного силицида WSi. Ключевые слова: поверхностная диффузия, адсорбция, растворение, десорбция.
  1. R. Casanova, T.T. Tsong. Surf. Sci. 109, 1, L497 (1981). https://doi.org/10.1016/0039-6028(81)90505-7
  2. R. Casanova, T.T. Tsong. Thin Solid Films 93, 1--2, 41 (1982). https://doi.org/10.1016/0040-6090(82)90090-6
  3. C.A. Kiwanga, R.A. Collins. Physica Status Solidi (a) 23, 1, 209 (1974). https://doi.org/10.1002/pssa.2210230122
  4. A.P. Janssen, J.P. Jones. Surf. Sci. 41, 1, 257 (1974). https://doi.org/10.1016/0039-6028(74)90308-2
  5. A.G. Sault, D.W. Goodman. Surf. Sci. 235, 1, 28 (1990). https://doi.org/10.1016/0039-6028(90)90103-F
  6. A.G. Sault, D.W. Goodman. J. Catal. 126, 1, 57 (1990). https://doi.org/10.1016/0021-9517(90)90046-M
  7. O. Nishikawa, Y. Tsunachima, E. Nomura, S. Horie, M. Wada, M. Shibata, T. Yoshimura, R. Uemori. J. Vac. Sci. Technol. B 1, 1, 6 (1983). https://doi.org/10.1116/1.582506
  8. M. Hashimoto, T. Matsushima, K. Azuma, T. Matsui. Surf. Sci. 137, 1, L75 (1984). https://doi.org/10.1016/0039-6028(84)90671-X
  9. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева. Поверхность 7, 30 (1987)
  10. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, Н.Р. Галль, С.Н. Михайлов, Е.В. Рутьков, А.Я. Тонтегоде. Поверхность 5, 6 (1987)
  11. L. Yang, B.D. Wirth. Nucl. Fusion 63, 12, 126004 (2023). https://doi.org/10.1088/1741-4326/acf4a9
  12. Z.L. Tang, G.Z. Zuo, C.L. Li, M. Huang, X.B. Zhang, J.S. Hu. J. Nucl. Mater. 555, 153146 (2021). https://doi.org/10.1016/j.jnucmat.2021.153146
  13. H. Mao, F. Ding, G.-N. Luo, Z. Hu, X. Chen, F. Xu, J. Hu, G. Zuo, Z. Sun, Y. Yu, J. Wu, L. Wang, Y. Duan, J. Xu, J. Chen, Z. Yang, R. Ding, H. Xie. Nucl. Mater. Energy 12, 447 (2017). https://doi.org/10.1016/j.nme.2016.12.010
  14. T.T. Tsong. Rep. Prog. Phys. 51, 6, 759 (1988). https://doi.org/10.1088/0034-4885/51/6/001
  15. A.G. Naumovets, Yu.S. Vedula. Surf. Sci. Rep. 4, 7--8, 365 (1985). https://doi.org/10.1016/0167-5729(85)90007-X