Вышедшие номера
Home » Физика твердого тела » Год 2024, выпуск 11 » Статья стр. 1928
<<<>>>
Синтез текстурированных пленок гексаферрита бария на кремниевых подложках с аморфным покрытием Al2O3|Si3N4
Российский научный фонд, 24-13-00268
Костишин В.Г.1, Миронович А.Ю.1, Тимофеев А.В.1, Скорлупин Г.А.1, Риль А.И.2
1Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
2Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова Российской академии наук, Москва, Россия
Email: mironovich.ai@misis.ru
Поступила в редакцию: 30 октября 2024 г.
В окончательной редакции: 2 ноября 2024 г.
Принята к печати: 3 ноября 2024 г.
Выставление онлайн: 17 декабря 2024 г.
PDF версия
Тонкие пленки BaFe12O19 были синтезированы методом ионно-лучевого распыления на аморфных структурах Al2O3|Si3N4. Непосредственно после напыления пленки BaFe12O19 аморфны, но посредством отжига могут быть переведены в кристаллическое состояние. При этом, в определенных условиях, в таких пленках спонтанно образуется текстура (00l), что позволяет использовать их для проектирования и создания планарных СВЧ-приборов, устройств спинтроники и магнитной памяти. Однако вследствие термической обработки в структуре BaFe12O19|Al2O3|Si3N4 возникают механические напряжения, приводящие к образованию макроскопических дефектов. Исследуется возможность снижения напряжений посредством дополнительного отжига слоев Al2O3 и Si3N4 при 900oC и варьирования толщины Al2O3 с целью получения бездефектных пленок BaFe12O19 (00l). Ключевые слова: гексагональный феррит, тонкие пленки, морфология поверхности, ионно-лучевое осаждение, кристаллографическая текстура.
  1. R.C. Pullar. Prog. Mater. Sci. 57, 7, 1191 (2012)
  2. J.J. Went, G.W. Rathenau, E.W. Gorter, G.W. van Oosterhout. Philips Techn. Rev. 13, 7, 194 (1952)
  3. D. Chen, G. Wang, Z. Chen, Y. Chen, Y. Li, Y. Liu. Mater. Lett. 189, 229 (2017)
  4. H. Zheng, J. Luo, Q. Wu, P. Zheng, L. Zheng, M. Han, Y. Zhang. J. Magn. Magn. Mater. 479, 99 (2019)
  5. C. Yu, A.S. Sokolov, P. Kulik, V.G. Harris. J. Alloys. Compd. 814, 152301 (2020)
  6. S.D. Johnson, D.-S. Park, S.B. Qadri, E.P. Gorzkowski. J. Magn. Magn. Mater. 479, 156 (2019)
  7. X. Dong, H. Li, J. Chen, D. Chen, J. Shen, Y. Chen. Mater. Res. Express 6, 9, 096104 (2019)
  8. S. Mahadevan, C. Pahwa, S.B. Narang, P. Sharma. J. Magn. Magn. Mater. 441, 465 (2017)
  9. V.G. Harris, A. Geiler, Y. Chen, S.D. Yoon, M. Wu, A. Yang, Z. Chen, P. He, P.V. Parimi, X. Zuo, C.E. Patton, M. Abe, O. Acher, C. Vittoria. J. Magn. Magn. Mater. 321, 14, 2035 (2009)
  10. R. Bowrothu, H.-I. Kim, C.S. Smith, D.P. Arnold, Y.-K. Yoon. IEEE Trans. Microw. Theory Tech. 68, 12, 5065 (2020)
  11. W.M. Gitzel, O. Arikan, M. Heidenreich, J. Topfer, A.F. Jacob. 2020 50th Eur. Microw. Conf. 739 (2021)
  12. Z. Wang, Y.-Y. Song, Y. Sun, J. Bevivino, M. Wu, V. Veerakumar, T.J. Fal, R.E. Camley. Appl. Phys. Lett. 97, 7, 72509 (2010)
  13. S.G. Wang, S.D. Yoon, C. Vittoria. J. Appl. Phys. 92, 11, 6728 (2002)
  14. K. Sun, Q. Li, H. Guo, Y. Yang, Z. Yu, Z. Xu, X. Jiang, Z. Lan, L. Li. J. Alloys Compd. 663, 645 (2016)
  15. A.R. Abuzir, S.A. Salman, J. Mazher. J. Supercond. Nov. Magn. 33, 12, 3819 (2020)
  16. N. Velhal, G. Kulkarni, D. Mahadik, P. Chowdhury, H. Barshilia, V. Puri. J. Alloys Compd. 682, 730 (2016)
  17. Y. Chen, T. Sakai, T. Chen, S.D. Yoon, A.L. Geiler, C. Vittoria, V.G. Harris. Appl. Phys. Lett. 88, 6, 062516 (2006)
  18. F.K.H. Gellersen, F.M. Klichowski, A.G.C. Rusche, A.F. Jacob. 2016 Ger. Microw. Conf. 221 (2016)
  19. F.K.H. Gellersen, J. Peschel, A. Ochsenfarth, A.F. Jacob. 2017 Top. Work. Internet Sp., 1 (2017). https://doi.org/10.1109/TWIOS.2017.7869766
  20. S. Budiawanti, B. Soegijono, I. Mudzakir. AIP Conf. Proceed. 2023, 1, 20048 (2018)
  21. S.D. Yoon, C. Vittoria, S.A. Oliver. J. Appl. Phys. 93, 7, 4023 (2003)
  22. В.Г. Костишин, А.Ю. Миронович, Р.И. Шакирзянов, И.М. Исаев, А.А. Сергиенко. Усп. прикл. физ. 8, 5, 370 (2020)
  23. B. Peng, J.Y. Jiang, W.L. Zhang, H.Z. Xu, W.X. Zhang. Mater. Res. Innov. 19, sup8, S8-654 (2015)
  24. Q.F. Li, X.D. Su, H. Li, L. Zhang, Z.H. Liu, H.J. Zhong. J. Appl. Phys. 106, 12, 123914 (2009)
  25. C.V. Thompson, R. Carel. Mater. Sci. Eng. B 32, 3, 211 (1995)
  26. N.N. Shams, M. Matsumoto, A. Morisako. IEEE Trans. Magn. 40, 4 Part 2, 2955 (2004)
  27. A. Morisako, N.N. Shams, Y. Miura, M. Matsumoto, S.H. Gee, M.H. Park, Y.K. Hong. J. Magn. Magn. Mater. 272--276, Part 3, 2191 (2004)
  28. A.R. Abuzir, S.A. Salman. Res. Phys. 8, 587 (2018)
  29. Z. Xu, Z. Lan, K. Sun, Z. Yu, R. Guo, F. Bai. IEEE Trans. Magn. 49, 7, 4226 (2013)
  30. Y. Chen, J.A. Bain, M.H. Kryder. J. Magn. Soc. Japan. 21, S_2_PMRC_97_2, S2_65 (1997)
  31. T.L. Hylton, M.A. Parker, M. Ullah, K.R. Coffey, R. Umphress, J.K. Howard. J. Appl. Phys. 75, 10, 5960 (1994)
  32. В.Г. Костишин, А.Ю. Миронович, А.В. Тимофеев, Р.И. Шакирзянов, И.М. Исаев, А.С. Курочка, А.И. Риль, А.А. Сергиенко. ЖНХ 66, 4, 567 (2021). [V.G. Kostishin, A.Yu. Mironovich, A.V. Timofeev, R.I. Shakirzyanov, I.M. Isaev, A.S. Kurochka, A.I. Ril', A.A. Sergienko. Russ. J. Inorg. Chem. 66, 4, 603 (2021).]
  33. T. Guo, J. He, X. Pang, A.A. Volinsky, Y. Su, L. Qiao. Acta Materialia 138, 1 (2017)
  34. G. Abadias, E. Chason, J. Keckes, M. Sebastiani, G.B. Thompson, E. Barthel, G.L. Doll, C.E. Murray, C.H. Stoessel, L. Martinu. J. Vac. Sci. Technol. A 36, 2, 020801 (2018)
  35. V.G. Kostishin, A.Y. Mironovich, A.V. Timofeev, R.I. Shakirzyanov, I.M. Isaev, G.A. Skorlupin, A.I. Ril. Mater. Today Commun. 31, 103804 (2022)
  36. X. Zhang, S. Meng, D. Song, Y. Zhang, Z. Yue, V.G. Harris. Sci. Rep. 7, 1, 44193 (2017)
  37. T.S. Cho, S.J. Doh, J.H. Je, D.Y. Noh. J. Appl. Phys. 86, 4, 1958 (1999).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme