Вышедшие номера
Влияние олова на свойства нитрида галлия, выращенного методом хлорид-гидридной газофазной эпитаксии
Осипов А.В. 1, Шарофидинов Ш.Ш. 2, Осипова Е.В. 1, Редьков А.В. 3, Кукушкин С.А. 3
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: andrey.v.osipov@gmail.com, sergey.a.kukushkin@gmail.com
Поступила в редакцию: 4 июля 2024 г.
В окончательной редакции: 4 июля 2024 г.
Принята к печати: 5 июля 2024 г.
Выставление онлайн: 5 августа 2024 г.

Слой GaN n-типа, легированный оловом был выращен методом хлорид-гидридной газофазной эпитаксии (HVPE). Легирование оловом осуществлялось путем химической реакции с образованием SnCl2 и его последующим распадом в присутствии NH3. Показано, что легирование оловом приводит к исчезновению трещин и уменьшению шероховатости GaN. Исследованы оптические свойства GaN, легированного оловом. Показано, что в рамановском спектре GaN : Sn появляется толстая зона линий в области от 620 до 740 cm-1, связанная с колебаниями связей Sn-N. Электроны проводимости, возникающие при легировании GaN оловом, поглощают свет в области 2.2-3.3 eV. Методом функционала плотности показано, что атомы Sn сильно взаимодействуют друг с другом в кристалле GaN анизотропным образом, определяя локальную группу симметрии легированного кристалла. Ключевые слова: нитрид галлия, метод функционала плотности, хлорид-гидридная эпитаксия, ионный радиус, рамановский спектр.