Описывается процесс получения тонкой пленки TiO₂ на кремниевой подложке с использованием метода атомно-слоевого осаждения. Изучается процесс фазового перехода в таких пленках при различных режимах термообработки от полиморфа анатаза к рутилу. Методы комбинационного рассеяния света, рентгеноструктурного анализа и атомно-силовой микроскопии применяются для анализа структурных изменений и морфологии поверхности пленок до и после термической обработки. Аналитические данные подтверждают, что при термическом атомно-слоевом осаждении с использованием в качестве прекурсоров тетраизопропоксида титана и воды происходит рост TiO₂ полиморфа анатаз, при этом пленка является поликристаллической. При термической обработке полный переход из анатаза в рутил у пленки толщиной в 1.5 mkm на кремневой подложке происходит при выдержке в течение от 2 до 3 h при 1000 ^oC. Ключевые слова: пленка диоксида титана, анатаз, рутил, атомно-слоевое осаждение, фазовый переход, комбинационное рассеяние света, атомно-силовая микроскопия.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.