Эволюция структуры при превращении Si в SiC методом самосогласованного замещения атомов
Российский научный фонд, 23-91- 01001
Кукушкин С.А.
1, Воробьев М.Г.
1, Осипов А.В.
1, Гращенко А.С.
1, Убыйвовк Е.В.
1,21Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: sergey.a.kukushkin@gmail.com, vmaximg@bk.ru, asgrashchenko@bk.ru, ubyivovk@gmail.com
Поступила в редакцию: 14 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 14 мая 2024 г.
Принята к печати: 15 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 6 июля 2024 г.
На примере формирования эпитаксиальных слоев карбида кремния на кремнии методом согласованного замещения атомов проведены исследования эволюции структуры при фазовых превращениях в многокомпонентных кристаллах с химическими реакциями. Обнаружено существенное изменение во времени микроструктуры и свойств слоев образующегося SiC. Анализ микроструктуры и свойств слов SiC/Si проведен при помощи метода фотолюминесценции (ФЛ), метода дифракции быстрых электронов (ДБЭ), метода спектроскопической эллипсометрии (СЭ), а эволюция структуры межфазной границы раздела SiC-Si исследована при помощи метода растровой электронной микроскопии (РЭМ). Установлено, что в течение первых пяти минут синтеза происходит изменение реконструкции поверхности SiC, кроме того, упругие деформации сменяются с сжимающих на растягивающие. Обнаружено, что в процессе синтеза SiC на Si(111) в результате реконструкции поверхности SiC может сформироваться как структура (3x3), так и структура (2x1). Ключевые слова: карбид кремния на кремнии, реконструкция поверхности, топохимические реакции, упругие деформации, люминесценция, диффузионная зона, наноструктуры, эволюция микроструктуры, AlN, GaN, AlGaN.
- S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Phys. D 47, 313001 (2014). DOI: 10.1088/0022-3727/47/31/313001
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Н.А. Феоктистов. ФТТ 56, 8, 1457 (2014). DOI: 10.1134/S1063783414080137
- S.A. Kukushkin, A. V. Osipov. Inorganic Materials 57, 13, 1319 (2021). DOI: 10.1134/S0020168521130021
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ЖОХ 92, 4, 547 (2022). DOI: 10.31857/S0044460X22040023 [S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. Russ. J. Gen. Chem. 92, 4, 547 (2022). DOI: 10.1134/S1070363222040028]
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. Конденсированные среды и межфазные границы 24, 4, 407 (2022). DOI: 10.17308/kcmf.2022.24/10549
- A. Severino, C. Locke, R. Anzalone, M. Camarda, N. Piluso, A. La Magna, S. Saddow, G. Abbondanza, G. D'Arrigo, F. La Via. ECS Trans. 35, 6, 99 (2011). DOI: 10.1149/1.3570851
- G. Ferro. Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 40, 1, 56 (2015). DOI: 10.1080/10408436.2014.940440
- S. Nishino, J.A. Powell, H.A. Will. Appl. Phys. Lett. 42, 5, 460 (1983). DOI: 10.1063/1.93970
- J. Pezoldt, Th. Kups, Th. Stauden, B. Schroter. Mater. Sci. Eng. B 165, 28 (2009). DOI: 10.1016/j.mseb.2009.03.015
- F. Iacopi, G. Walker, L. Wang, L. Malesys, Sh. Ma, B.V. Cunning, A. Iacopi. Appl. Phys. Lett. 102, 011908 (2013). DOI: 10.1063/1.4774087
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. Журн. неорган. химии (2024). В печати
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Е.В. Осипова. Письма в ЖТФ 48, 20, 43 (2022). DOI: 10.21883/PJTF.2022.20.53696.19310 [S.A. Kukushkin, A. V. Osipov, E.V. Osipova. Tech. Phys. Lett. 48, 10, 78 (2022). DOI: 10.21883/TPL.2022.10.54806.19310)].
- S.A. Kukushkin, L.K. Markov, A.S. Pavlyuchenko, I.P. Smirnova, A.V. Osipov, A.S. Grashchenko, A.E. Nikolaev, A.V. Sakharov, A.F. Tsatsulnikov, G.V. Sviatets. Coatings 8, 7, 1142 (2023). DOI: 10.3390/coatings13071142
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Е.В. Осипова, В.М. Стожаров. ФТТ 64, 3, (2022). DOI: 10.21883/FTT.2022.03.52093.2322 [S.A. Kukushkin, A.V. Osipov, E.V. Osipova, V.M. Stozharov. Phys. Solid State 64, 3, 327 (2022)]. DOI: 10.21883/PSS.2022.03.53187.232)]
- Ю.А. Еремеев, М.Г. Воробьев, А.С. Гращенко, А.В. Семенча, А.В. Осипов, С.А. Кукушкин. ФТТ 65, 1, 71 (2023). DOI: 10.21883/FTT.2023.01.53925.480 [I.A. Eremeev, M.G. Vorobev, A.S. Grashchenko, A.V. Semencha, A.V. Osipov, S.A. Kukushkin. Phys. Solid State 65, 1, 68 (2023). DOI: 10.21883/PSS.2023.01.54976.480)]
- Л.К. Марков, С.А. Кукушкин, И.П. Смирнова, А.С. Павлюченко, А.С. Гращенко, А.В. Осипов, Г.В. Святец, А.Е. Николаев, А.В. Сахаров, В.В. Лундин, А.Ф. Цацульников. Письма в ЖТФ 47, 18, 3 (2021). DOI: 10.21883/PJTF.2021.18.51462.18877
- И.П. Калинкин, С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТП 52, 6, 656 (2018). DOI: 10.21883/FTP.2018.06.45932.875 [I.P. Kalinkin, S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. Semiconductors 52, 802 (2018). DOI: 10.1134/S1063782618060118]
- A. Fissel. Phys. Rep. 379, 147 (2003). DOI: 10.1016/S0370-1573(02)00632-4
- В.В. Балашев, В.В. Коробцов, Т.А. Писаренко, Е.А. Чусовитин, К.Н. Галкин. ФТТ 52, 2, 370 (2010)
- А.Ю. Аристов. УФН 171, 8, 801 (2001). DOI: 10.3367/UFNr.0171.200108a.0801
- V. Cimalla, Th. Stauden, G. Ecke, F. Scharmann, G. Eichhorn, J. Pezoldt, S. Sloboshanin, J. A. Schaefer. Appl. Phys. Lett. 73, 3542 (1998). DOI: 10.1063/1.122801
- J. Schardt, J. Bernhardt, U. Starke, K. Heinz. Phys. Rev. B 62, 10335 (2000). DOI: 10.1103/PhysRevB.62.10335
- G.V. Benemanskaya, P.A. Dementev, S.А. Kukushkin, M.N. Lapushkin, A.V. Osipov, B. Senkovskiy, S.N. Timoshnev. Mater. Phys. Mech. 22, 183 (2015)
- R. Kaplan. Surf. Sci. 215, 1-2, 111 (1989). DOI: 10.1016/0039-6028(89)90704-8
- S.A. Kukushkin, A. V. Osipov. Materials 15, 4653 (2022). DOI: 10.3390/ma15134653
- S.A. Kukushkin, A.V. Osipov, I.P. Soshnikov. Rev. Adv. Mater. Sci. 52, 29 (2017)
- М.Е. Компан, И.Г. Аксянов, И.В. Кулькова, С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Н.А. Феоктистов. ФТТ 51, 12, 2326 (2009)
- H.W. Shim, K.C. Kim, Y.H. Seo, K.S. Nahm, E.-K. Suh, H.J. Lee, Y.G. Hwang. Appl. Phys. Lett. 70, 13, 31 1757 (1997). DOI: 10.1063/1.118648
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.