Вышедшие номера
Эволюция структуры при превращении Si в SiC методом самосогласованного замещения атомов
Российский научный фонд, 23-91- 01001
Кукушкин С.А. 1, Воробьев М.Г. 1, Осипов А.В. 1, Гращенко А.С. 1, Убыйвовк Е.В. 1,2
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: sergey.a.kukushkin@gmail.com, vmaximg@bk.ru, asgrashchenko@bk.ru, ubyivovk@gmail.com
Поступила в редакцию: 14 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 14 мая 2024 г.
Принята к печати: 15 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 6 июля 2024 г.

На примере формирования эпитаксиальных слоев карбида кремния на кремнии методом согласованного замещения атомов проведены исследования эволюции структуры при фазовых превращениях в многокомпонентных кристаллах с химическими реакциями. Обнаружено существенное изменение во времени микроструктуры и свойств слоев образующегося SiC. Анализ микроструктуры и свойств слов SiC/Si проведен при помощи метода фотолюминесценции (ФЛ), метода дифракции быстрых электронов (ДБЭ), метода спектроскопической эллипсометрии (СЭ), а эволюция структуры межфазной границы раздела SiC-Si исследована при помощи метода растровой электронной микроскопии (РЭМ). Установлено, что в течение первых пяти минут синтеза происходит изменение реконструкции поверхности SiC, кроме того, упругие деформации сменяются с сжимающих на растягивающие. Обнаружено, что в процессе синтеза SiC на Si(111) в результате реконструкции поверхности SiC может сформироваться как структура (3x3), так и структура (2x1). Ключевые слова: карбид кремния на кремнии, реконструкция поверхности, топохимические реакции, упругие деформации, люминесценция, диффузионная зона, наноструктуры, эволюция микроструктуры, AlN, GaN, AlGaN.
  1. S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Phys. D 47, 313001 (2014). DOI: 10.1088/0022-3727/47/31/313001
  2. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Н.А. Феоктистов. ФТТ 56, 8, 1457 (2014). DOI: 10.1134/S1063783414080137
  3. S.A. Kukushkin, A. V. Osipov. Inorganic Materials 57, 13, 1319 (2021). DOI: 10.1134/S0020168521130021
  4. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ЖОХ 92, 4, 547 (2022). DOI: 10.31857/S0044460X22040023 [S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. Russ. J. Gen. Chem. 92, 4, 547 (2022). DOI: 10.1134/S1070363222040028]
  5. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. Конденсированные среды и межфазные границы 24, 4, 407 (2022). DOI: 10.17308/kcmf.2022.24/10549
  6. A. Severino, C. Locke, R. Anzalone, M. Camarda, N. Piluso, A. La Magna, S. Saddow, G. Abbondanza, G. D'Arrigo, F. La Via. ECS Trans. 35, 6, 99 (2011). DOI: 10.1149/1.3570851
  7. G. Ferro. Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 40, 1, 56 (2015). DOI: 10.1080/10408436.2014.940440
  8. S. Nishino, J.A. Powell, H.A. Will. Appl. Phys. Lett. 42, 5, 460 (1983). DOI: 10.1063/1.93970
  9. J. Pezoldt, Th. Kups, Th. Stauden, B. Schroter. Mater. Sci. Eng. B 165, 28 (2009). DOI: 10.1016/j.mseb.2009.03.015
  10. F. Iacopi, G. Walker, L. Wang, L. Malesys, Sh. Ma, B.V. Cunning, A. Iacopi. Appl. Phys. Lett. 102, 011908 (2013). DOI: 10.1063/1.4774087
  11. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. Журн. неорган. химии (2024). В печати
  12. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Е.В. Осипова. Письма в ЖТФ 48, 20, 43 (2022). DOI: 10.21883/PJTF.2022.20.53696.19310 [S.A. Kukushkin, A. V. Osipov, E.V. Osipova. Tech. Phys. Lett. 48, 10, 78 (2022). DOI: 10.21883/TPL.2022.10.54806.19310)].
  13. S.A. Kukushkin, L.K. Markov, A.S. Pavlyuchenko, I.P. Smirnova, A.V. Osipov, A.S. Grashchenko, A.E. Nikolaev, A.V. Sakharov, A.F. Tsatsulnikov, G.V. Sviatets. Coatings 8, 7, 1142 (2023). DOI: 10.3390/coatings13071142
  14. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Е.В. Осипова, В.М. Стожаров. ФТТ 64, 3, (2022). DOI: 10.21883/FTT.2022.03.52093.2322 [S.A. Kukushkin, A.V. Osipov, E.V. Osipova, V.M. Stozharov. Phys. Solid State 64, 3, 327 (2022)]. DOI: 10.21883/PSS.2022.03.53187.232)]
  15. Ю.А. Еремеев, М.Г. Воробьев, А.С. Гращенко, А.В. Семенча, А.В. Осипов, С.А. Кукушкин. ФТТ 65, 1, 71 (2023). DOI: 10.21883/FTT.2023.01.53925.480 [I.A. Eremeev, M.G. Vorobev, A.S. Grashchenko, A.V. Semencha, A.V. Osipov, S.A. Kukushkin. Phys. Solid State 65, 1, 68 (2023). DOI: 10.21883/PSS.2023.01.54976.480)]
  16. Л.К. Марков, С.А. Кукушкин, И.П. Смирнова, А.С. Павлюченко, А.С. Гращенко, А.В. Осипов, Г.В. Святец, А.Е. Николаев, А.В. Сахаров, В.В. Лундин, А.Ф. Цацульников. Письма в ЖТФ 47, 18, 3 (2021). DOI: 10.21883/PJTF.2021.18.51462.18877
  17. И.П. Калинкин, С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТП 52, 6, 656 (2018). DOI: 10.21883/FTP.2018.06.45932.875 [I.P. Kalinkin, S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. Semiconductors 52, 802 (2018). DOI: 10.1134/S1063782618060118]
  18. A. Fissel. Phys. Rep. 379, 147 (2003). DOI: 10.1016/S0370-1573(02)00632-4
  19. В.В. Балашев, В.В. Коробцов, Т.А. Писаренко, Е.А. Чусовитин, К.Н. Галкин. ФТТ 52, 2, 370 (2010)
  20. А.Ю. Аристов. УФН 171, 8, 801 (2001). DOI: 10.3367/UFNr.0171.200108a.0801
  21. V. Cimalla, Th. Stauden, G. Ecke, F. Scharmann, G. Eichhorn, J. Pezoldt, S. Sloboshanin, J. A. Schaefer. Appl. Phys. Lett. 73, 3542 (1998). DOI: 10.1063/1.122801
  22. J. Schardt, J. Bernhardt, U. Starke, K. Heinz. Phys. Rev. B 62, 10335 (2000). DOI: 10.1103/PhysRevB.62.10335
  23. G.V. Benemanskaya, P.A. Dementev, S.А. Kukushkin, M.N. Lapushkin, A.V. Osipov, B. Senkovskiy, S.N. Timoshnev. Mater. Phys. Mech. 22, 183 (2015)
  24. R. Kaplan. Surf. Sci. 215, 1-2, 111 (1989). DOI: 10.1016/0039-6028(89)90704-8
  25. S.A. Kukushkin, A. V. Osipov. Materials 15, 4653 (2022). DOI: 10.3390/ma15134653
  26. S.A. Kukushkin, A.V. Osipov, I.P. Soshnikov. Rev. Adv. Mater. Sci. 52, 29 (2017)
  27. М.Е. Компан, И.Г. Аксянов, И.В. Кулькова, С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Н.А. Феоктистов. ФТТ 51, 12, 2326 (2009)
  28. H.W. Shim, K.C. Kim, Y.H. Seo, K.S. Nahm, E.-K. Suh, H.J. Lee, Y.G. Hwang. Appl. Phys. Lett. 70, 13, 31 1757 (1997). DOI: 10.1063/1.118648

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.