Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Подстройка параметров туннельного барьера СИС-перехода путем варьирования состава верхнего электрода
Российский научный фонд, 23-79-00019
Чекушкин А.М.
1, Парамонов М.Е.
1, Кошелец В.П.
1
1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия 
Email: chekushkin@hitech.cplire.ru, paramonov@hitech.cplire.ru, valery@hitech.cplire.ru
Поступила в редакцию: 18 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 18 апреля 2024 г.
Принята к печати: 8 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 6 июля 2024 г.
Рассмотрено влияние верхнего электрода нитрида ниобия в многослойной структуре Nb|Al-AlN|NbN на параметры туннельного барьера (AlN). Показано, что повышение концентрации азота в газовой смеси Ar/N2 при формировании NbN методом магнетронного распыления приводит к уменьшению туннельной прозрачности барьера AlN. Ключевые слова: Сверхпроводниковые устройства, туннельный переход сверхпроводник-изолятор-сверхпроводник, туннельный барьер AlN, плазмохимическое травление.
- J.M. Rowell, M. Gurvitch, J. Geerk. Phys. Rev. B 24, 4, 2278(R) (1981)
- M. Gurvitch, M.A. Washington, H.A. Huggins. Appl. Phys. Lett. 42, 5, 472 (1983)
- T. Imamura, T. Shiota, S. Hasuo. IEEE Trans. Appl. Supercond. 2, 1, 1 (1992)
- T. Imamura, S. Hasuo. IEEE Trans. Appl. Supercond. 2, 2, 84 (1992)
- P.N. Dmitriev, I.L. Lapitskaya, L.V. Filippenko, A.B. Ermakov, S.V. Shitov, G.V. Prokopenko, S.A. Kovtonyuk, V.P. Koshelets. IEEE Trans. Appl. Supercond. 13, 2, 107 (2003)
- A.W. Kleinsasser, R.E. Miller, W.H. Mallison. IEEE Trans. Appl. Supercond. 5, 2 Part 3, 2318 (1995)
- J.G. Simmons. J. Appl. Phys. 34, 6, 1793 (1963)
- M.Yu. Torgashin, V.P. Koshelets, P.N. Dmitriev, A.B. Ermakov, L.V. Filippenko, P.A. Yagoubov. IEEE Trans. Appl. Supercond. 17, 2, 379 (2007)
- А.М. Чекушкин, Л.В. Филиппенко, М.Ю. Фоминский, В.П. Кошелец. ФТТ 64, 10, 1399 (2022). [A.M. Chekushkin, L.V. Filippenko, M.Y. Fominskiy, V.P. Koshelets. Phys. Solid State 64, 10, 1382 (2022)]
- W.F. Brinkman, R.C. Dynes, J.M. Rowell. J. Appl. Phys. 41, 5, 1915 (1970)
- М.Е. Парамонов, Л.В. Филиппенко, П.Н. Дмитриев, М.Ю. Фоминский, В.П. Кошелец. Радиотехника и электроника 64, 10, 1029 (2019). [M.E. Paramonov, L.V. Filippenko, P.N. Dmitriev, M.Y. Fominsky, V.P. Koshelets. J. Commun. Technol. Electron. 64, 10, 1144 (2019)]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
