Рост ориентированных многостенных углеродных нанотрубок на структурах SiO2/Si, модифицированных ионным облучением
Болотов В.В.
1, Князев Е.В.
1,2, Поворознюк С.Н.
1,2, Стенькин Ю.А.
11Омский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук, Омск, Россия
2Омский государственный технический университет, Омск, Россия
![Omsk State Technical University, Omsk, Russia](/images/e16.png)
Email: bolotov@obisp.oscsbras.ru, knyazevyegor@mail.ru, povorozn@obisp.oscsbras.ru, sten@obisp.oscsbras.ru
Поступила в редакцию: 12 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 10 июля 2023 г.
Принята к печати: 30 октября 2023 г.
Выставление онлайн: 6 декабря 2023 г.
Исследованы морфологические параметры слоев вертикально ориентированных многостенных углеродных нанотрубок (МУНТ) на различных этапах синтеза. Показано, что в результате ионной обработки ростовой подложки происходит более интенсивный и однородный рост многостенных углеродных нанотрубок. Модификация ростовой подложки увеличивает количество мест закрепления частиц катализатора на поверхности, что приводит к формированию боле однородного слоя нанотрубок на подложке. Анализ данных полученных методом энергодисперсионного анализа, показал корреляцию эффекта увеличения плотности МУНТ с дозой ионной обработки поверхности. Предварительная обработка поверхности ростовой подложки ионным облучением способствует снижению неоднородности слоя нанотрубок. Ключевые слова: вертикально ориентированные многостенные углеродные нанотрубки, химическое осаждение из газовой фазы, ионное облучение, растровая электронная микроскопия.
- A. Thapa, Y.R. Poudel, R. Guo, K.L. Jungjohann, X. Wang, W. Li. Carbon 171, 188 (2021). DOI: 10.1016/j.carbon.2020.08.081
- Н.В. Лянгузов, Е.В. Никитина, В.С. Сим. Письма в ЖТФ 48, 7, 23 (2022). DOI: 10.21883/PJTF.2022.07.52288.19008
- V.V. Bolotov, P.M. Korusenko, S.N. Nesov, S.N. Povoroznyuk, E.V. Knyazev. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. 337, 1 (2014). DOI: 10.1016/j.nimb.2014.07.014
- D.V. Krasnikov, A.N. Shmakov, V.L. Kuznetsov, A.V. Ishchenko. J. Struct. Chem. 57, 7, 1436 (2016). DOI: 10.1134/S0022476616070192
- Ю.В. Балакшин, А.В. Кожемяко, А.П. Евсеев. ВМУ. Сер. 3. Физика. Астрономия 3, 23 (2020)
- А.В. Кожемяко, А.П. Евсеев, Ю.В. Балакшин, А.А. Шемухин. ФТП 53, 6, 810 (2019). DOI: 10.21883/FTP.2019.06.47734.9050
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.