Вышедшие номера
Количественный анализ пленочных структур с диффузной границей раздела, исследованных методом электронной Оже-спектроскопии
Ремеле В.Е.1, Митцев М.А.1, Кузьмин М.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: m.kuzmin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 25 июня 2023 г.
В окончательной редакции: 25 июня 2023 г.
Принята к печати: 3 июля 2023 г.
Выставление онлайн: 3 сентября 2023 г.

Предложена модель для интерпретации результатов электронной Оже-спектроскопии в случае пленочных систем с реакционно-способными границами раздела. Установлена количественная связь параметров переходного слоя и формы зависимостей величины Оже-сигнала подложки от толщины пленки в таких системах. Апробация модели проведена для трех границ раздела редкоземельный металл (Yb, Sm, Gd) - Si(111). Получены количественные данные, касающиеся их структуры и стехиометрического состава, а также зависимости указанных характеристик от термодинамических свойств исследованных редкоземельных металлов. Ключевые слова: поверхность, тонкие пленки, граница раздела, электронная Оже-спектроскопия, редкоземельные металлы, кремний. DOI: 10.21883/FTT.2023.09.56260.89