Количественный анализ пленочных структур с диффузной границей раздела, исследованных методом электронной Оже-спектроскопии
Ремеле В.Е.1, Митцев М.А.1, Кузьмин М.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: m.kuzmin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 25 июня 2023 г.
В окончательной редакции: 25 июня 2023 г.
Принята к печати: 3 июля 2023 г.
Выставление онлайн: 3 сентября 2023 г.
Предложена модель для интерпретации результатов электронной Оже-спектроскопии в случае пленочных систем с реакционно-способными границами раздела. Установлена количественная связь параметров переходного слоя и формы зависимостей величины Оже-сигнала подложки от толщины пленки в таких системах. Апробация модели проведена для трех границ раздела редкоземельный металл (Yb, Sm, Gd) - Si(111). Получены количественные данные, касающиеся их структуры и стехиометрического состава, а также зависимости указанных характеристик от термодинамических свойств исследованных редкоземельных металлов. Ключевые слова: поверхность, тонкие пленки, граница раздела, электронная Оже-спектроскопия, редкоземельные металлы, кремний. DOI: 10.21883/FTT.2023.09.56260.89
- Л. Фельдман, Д. Майер. Основы анализа поверхности и тонких пленок. Мир, М. (1989). 342 с
- Г.Г. Владимиров. Физика поверхности твердых тел. Лань, СПб. (2016). 352 c
- I. Lucci, S. Charbonnier, L. Pedesseau, M. Vallet, L. Cerutti, J.-B. Rodriguez, E. Tournie, R. Bernard, A. Letoublon, N. Bertru, A. Le Corre, S. Rennesson, F. Semond, G. Patriarche, L. Largeau, P. Turban, A. Ponchet, C. Cornet. Phys. Rev. Mater. 2, 060401-1-6 (2018)
- D.J. Eaglesham, M. Cerullo. Phys. Rev. Lett. 64, 1943 (1990)
- R.C. Newman. Phil. Mag. 2, 750 (1957)
- A. Mlynczak, R. Niedermayer. Thin Solid Films 28, 37 (1975)
- R. Kern, G. Le Lay, J.J. Metois. In: Current Topics in Material Science / Ed. E. Kaldis. North-Holland, Amsterdam (1979). V. 3. P. 178
- G. Rossi. Surf. Sci. Rep. 7, 1 (1987)
- F.P. Netzer. J. Phys. Condens. Matter 7, 991 (1995)
- A. Seiler, O. Bauder, S. Ibrahimkutty, R. Pradip, T. Prub mann, T. Vitova, M. Fiederle, T. Baumbach, S. Stankov. J. Cryst. Growth 407, 74 (2014)
- S. Sanna, C. Dues, W.G. Schmidt, F. Timmer, J. Wollschlager, M. Franz, S. Appelfeller, M. Dahne. Phys. Rev. B 93, 195407 (2016)
- M. Franz, S. Appelfeller, C. Prohl, J. Grob e, H.-F. Jirschik, V. Fullert, C. Hassenstein, Z. Diemer, M. Dahne. J. Vac. Sci. Technol. A 34, 061503 (2016)
- S. Chandola, E. Speiser, N. Esser, S. Appelfeller, M. Franz, M. Dahne. Appl. Surf. Sci. 399, 648 (2017)
- S. Tanusilp, Y. Ohishi, H. Muta, S. Yamanaka, A. Nishide, J. Hayakawa, K. Kurosaki. Phys. Status Solidi RRL 12, 2, 1700372 (2018)
- I. Goldfarb, F. Cesura, M. Dascalu. Adv. Mater. 30, 41, 1800004 (2018)
- A.M. Tokmachev, D.V. Averyanov, I.A. Karateev, O.E. Parfenov, O.A. Kondratev, A.N. Taldenkov, V.G. Storchak. EPJ Web of Conf. 185, 01010 (2018)
- K. Holtgrewe, S. Appelfeller, M. Franz, M. Dahne, S. Sanna. Phys. Rev. B 99, 214104 (2019)
- D.V. Averyanov, I.S. Sokolov, M.S. Platunov, F. Wilhelm, A. Rogalev, P. Gargiani, M. Valvidares, N. Jaouen, O.E. Parfenov, A.N. Taldenkov, I.A. Karateev, A.M. Tokmachev, V.G. Storchak. Nano Res. 13, 3396 (2020)
- A.M. Tokmachev, D.V. Averyanov, A.N. Taldenkov, I.S. Sokolov, I.A. Karateev, O.E. Parfenov, V.G. Storchak. ACS Nano 15, 12034 (2021)
- S. Gokhale, N. Ahmed, S. Mahamuni, V.J. Rao, A.S. Nigavekar, S.K. Kulkarni. Surf. Sci. 210, 85 (1989)
- W.A. Henle, F.P. Netzer, R. Cimino, W. Braun. Surf. Sci. 221, 131 (1989)
- A. Siokou, S. Kennou, S. Ladas. Surf. Sci. 331-333, 580 (1995)
- Т.В. Крачино, М.В. Кузьмин, М.В. Логинов, М.А. Митцев. ФТТ 39, 1672 (1997)
- А.Ю. Григорьев, А.М. Шикин, Г.В. Прудникова, С.А. Горовиков, В.К. Адамчук. ФТТ 40, 562 (1998)
- А.Ю. Григорьев, А.М. Шикин, Г.В. Прудникова, С.А. Горовиков, В.К. Адамчук. Поверхность 8-9, 146 (1998)
- Т.В. Крачино, М.В. Кузьмин, М.В. Логинов, М.А. Митцев. ФТТ 40, 1937 (1998)
- W.A. Henle, M.G. Ramsey, F.P. Netzer, S. Witzel, W. Braun. Surf. Sci. 243, 141 (1991)
- J. Onsgaard, M. Christiansen, F. Orskov, P.J. Godowski. Surf. Sci. 247, 208 (1991)
- Д.В. Бутурович, М.В. Кузьмин, М.В. Логинов, М.А. Митцев. ФТТ 50, 168 (2008)
- Свойства элементов. Справочник. Металлургия, М. (1976). Ч. 1
- F. Gerken, J. Barth, R. Kammerer, L.I. Johansson, A. Flodstrom. Surf. Sci. 117, 468 (1982)
- S. Tanuma, S.J. Powell, D.R. Penn. Surf. Interface Anal. 17, 911 (1991)
- A. Grytsiv, D. Kaczorowski, A. Leithe-Jasper, V.H. Tran, A. Pikul, P. Rogl, M. Potel, H. Noel, M. Bohn, T. Velikanova. J. Solid State Chem. 163, 178 (2002)
- Е.М. Савицкий, В.Ф. Терехова, Металловедение редкоземельных металлов. Наука, М. (1975). 271 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.