Синтез тонких пленок иридатов стронция путем катодного распыления: сравнение с традиционной технологией лазерной абляции
Российский научный фонд, БРФФИ Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований международными научными коллективами, 23-49-10006
Кислинский Ю.В.
1, Москаль И.Е.
1, Петржик А.М.
1, Шадрин А.В.
1,2, Овсянников Г.А.
11Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
2Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Долгопрудный, Московская обл., Россия
Email: yulii@hitech.cplire.ru
Поступила в редакцию: 17 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 17 апреля 2023 г.
Принята к печати: 11 мая 2023 г.
Выставление онлайн: 1 июля 2023 г.
Представлена технология получения структурированных тонких пленок иридата стронция составов SrIrO3 и Sr2IrO4 методом катодного распыления на постоянном токе. Оба состава были синтезированы с использованием стехиометрической мишени Sr2IrO4, варьировались лишь технологические параметры. Состав получаемых пленок определяли рабочее давление и температура. Обсуждаются электрофизические и структурные свойства полученных диэлектрических Sr2IrO4 и "металлических" SrIrO3-пленок. Диэлектрическая серия сравнивается с ранее полученными методом лазерной абляции Sr2IrO4-пленками. Ключевые слова: иридат стронция, катодное распыление, металлы, неупорядоченные структуры, прыжковая проводимость, энергия активации носителей тока.
- K. Nishio, H.Y. Hwang, Y. Hikita. APL Mater. 4, 036102 (2016)
- A. Gutierrez-Llorente, L. Iglesias, B. Rodri guez-Gonzalez, F. Rivadulla. APL Mater. 6, 091101 (2018)
- A.M. Petrzhik, K.Y. Constantinian, G.A. Ovsyannikov, A.V. Zaitsev, A.V. Shadrin, A.S. Grishin, Yu.V. Kislinskii, G. Cristiani, G. Logvenov. Phys. Rev. B 100, 024501 (2019)
- А.М. Петржик, G. Cristiani, Г. Логвенов, А.Е. Пестун, Н.В. Андреев, Ю.В. Кислинский, Г.А. Овсянников. Письма в ЖТФ 43, 12, 25 (2017); A.M. Petrzhik, G. Cristiani, G. Logvenov, A.E. Pestun, N.V. Andreev, Yu.V. Kislinskii, G.A. Ovsyannikov. Tech. Phys. Lett. 43, 6, 554 (2017)
- J.P. Gong, M. Kawasaki, K. Fujito, R. Tsuchia, M. Yoshimoto, H. Koinuma. Phys. Rev. B 50, 3280 (1994)
- C. Lu, A. Quindeau, H. Deniz, D. Preziosi, D. Hesse, M. Ale\=xe. Appl. Phys. Lett. 105, 082407 (2014)
- V. Fuentes, B. Vasic, Z. Konstantinovic, B. Martinez, L. Balcels, A. Pomar. J. Magn. Magn. Mater. 501, 166419 (2020)
- М.Е. Гершензон, В.Н. Губанков, М.И. Фалей. ЖЭТФ 90, 6, 2196 (1986); M.E. Gershenzon, V.N. Gubankov, M.I. Falei. Sov. Phys. JETP 63, 6, 1287 (1986)
- N. Apsley, H.P. Hughes. Phil. Mag. 31, 1327 (1975)
- Ю.В. Кислинский, К.И. Константинян, И.Е. Москаль, А.М. Петржик, А.В. Шадрин, Г.А. Овсянников. ФТТ 64, 10, 1412 (2022); Yu.V. Kislinskii, K.Y. Constantinian, I.E. Moskal, A.M. Petrzhik, A.V. Shadrin, G.A. Ovsyannikov. Phys. Solid State 64, 10, 1394 (2022)
- Б.И. Шкловский, А.Л. Эфрос. Электронные свойства легированных полупроводников. Наука, М. (1979). 416 с
- Gang Cao, Pedro Schlottmann. Rep. Prog. Phys. 81, 042502 (2018)
- K.-U. Barholz, M.Yu. Kupriyanov, U. Hubner, F. Schmidl, P. Seidel. Physica C 334, 175 (2000)
- N.E. Hussey, K. Takenaka, H. Takagi. Phil. Mag. 84, 2847 (2004)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
