Вышедшие номера
Синтез тонких пленок иридатов стронция путем катодного распыления: сравнение с традиционной технологией лазерной абляции
Российский научный фонд, БРФФИ Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований международными научными коллективами, 23-49-10006
Кислинский Ю.В. 1, Москаль И.Е.1, Петржик А.М. 1, Шадрин А.В. 1,2, Овсянников Г.А. 1
1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
2Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Долгопрудный, Московская обл., Россия
Email: yulii@hitech.cplire.ru
Поступила в редакцию: 17 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 17 апреля 2023 г.
Принята к печати: 11 мая 2023 г.
Выставление онлайн: 1 июля 2023 г.

Представлена технология получения структурированных тонких пленок иридата стронция составов SrIrO3 и Sr2IrO4 методом катодного распыления на постоянном токе. Оба состава были синтезированы с использованием стехиометрической мишени Sr2IrO4, варьировались лишь технологические параметры. Состав получаемых пленок определяли рабочее давление и температура. Обсуждаются электрофизические и структурные свойства полученных диэлектрических Sr2IrO4 и "металлических" SrIrO3-пленок. Диэлектрическая серия сравнивается с ранее полученными методом лазерной абляции Sr2IrO4-пленками. Ключевые слова: иридат стронция, катодное распыление, металлы, неупорядоченные структуры, прыжковая проводимость, энергия активации носителей тока.