Влияние материала верхнего электрода на электрофизические свойства МДМ-структур на основе сегнетоэлектрических пленок
Афанасьев М.С.1, Белорусов Д.А.1, Киселев Д.А.1, Чучева Г.В.1
1Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Фрязино, Россия
Email: gvc@ms.ir.rssi.ru
Поступила в редакцию: 28 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 28 апреля 2023 г.
Принята к печати: 4 мая 2023 г.
Выставление онлайн: 31 мая 2023 г.
Сегнетоэлектрические пленки состава Ba0.8Sr0.2TiO3 (BST) синтезированы на платинированные кремниевые подложки методом ВЧ-распыления. На выращенные пленки методом электронно-лучевого распыления сформированы верхние электроды из никеля, алюминия, меди и хрома. Представлены результаты исследований электрофизических свойств полученных гетероструктур металл-диэлектрик-металл (МДМ) (Ме-BST-Pt-Si). Ключевые слова: сегнетоэлектрические пленки BST, структуры металл-диэлектрик-металл (МДМ), микроструктура, электрофизические свойства.
- Д.А. Абдуллаев, Р.А. Милованов, Р.Л. Волков, Н.И. Боргардт, А.Н. Ланцев, К.А. Воротилов, А.С. Сигов. Russ. Technol. J. 8, 5, 44 (2020)
- К.А. Воротилов, В.М. Мухортов, А.С. Сигов. Интегрированные сегнетоэлектрические устройства. Энергоатомиздат, М. (2011). 175 с
- К.М. Рабе, Ч. Г. Ан, Ж.-М. Трискон. Физика сегнетоэлектриков: современный взгляд. Лаборатория знаний, Город (2020). 443 с
- В. М. Мухортов, Ю. И. Юзюк. Гетероструктуры на основе наноразмерных сегнетоэлектрических пленок: получение, свойства и применение. ЮНЦ РАН, Ростов н/ Д. (2008). 221 с
- A. Gannepalli, D.G. Yablon, A.H. Tsou, R. Proksch. Nanotechnology 24, 159501 (2013)
- J. Bian, P. Xue, R. Zhu, L. Wang, B. Yang, T. Li, Q. Hu, L. Shen, J. Wang, G. Lu, Y. Yang. Appl. Mater. Today 21, 100789 (2020)
- Е.И. Гольдман, А.Г. Ждан, Г.В. Чучева. ПТЭ 6, 110 (1997)
- М.С. Афанасьев, Д.А. Киселев, С.А. Левашов, А.А. Сивов, Г.В. Чучева. ФТТ 61, 10, 1948 (2019)
- R.C. Munoz, G. Vidal, M. Mulsow, J.G. Lisoni, C. Arenas, A. Concha, R. Esparza. Phys. Rev. B 62, 7, 4686 (2000)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.