Управление магнитной анизотропией и оптическими характеристиками наноструктурированных пленок кобальта методом наклонного напыления
Трушин О.С.
1, Фаттахов И.C.
1, Попов А.А.
1, Мазалецкий Л.А.
1,2, Ломов А.А.
3, Захаров Д.М.
3, Гайдукасов Р.А.
3, Мяконьких А.В.
3, Шендрикова Л.А.
41Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН, Ярославль, Россия
2Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
3Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН, Москва, Россия
4Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: otrushin@gmail.com, 33ychenikan@mail.ru, aapopov@mail.ru, boolvinkl@ya.ru, lomov@ftian.ru, deniszakharovm@mail.ru, gaydukasov.r@gmail.com, miakonkikh@ftian.ru, shendrikova.lida@gmail.com
Поступила в редакцию: 17 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 17 апреля 2023 г.
Принята к печати: 11 мая 2023 г.
Выставление онлайн: 31 мая 2023 г.
Методом электронно-лучевого испарения получены тонкие пленки Co на наклонных подложках Si(001). Установлено, что при углах падения испаряемого материала на подложку более 80o (скользящее напыление) на поверхности подложки формируются массивы отдельно стоящих наноколонн Co с сечением ~25 nm и аспектным отношением (длина/поперечный размер) не менее 15. При этом ось легкого намагничивания пленки ориентируется вдоль оси наноколонн, что приводит к появлению компоненты вектора намагничивания, нормальной к поверхности пленки. При включении вращения подложки формируется массив наноспиралей. При быстром вращении подложки (30 rpm) ось легкого намагничивания приближается к нормали к поверхности пленки. При низкой скорости вращения подложки (0.6 rpm) формируется массив наноспиралей, придающий пленке выраженные хиральные свойства. Ключевые слова: наноструктурирование, тонкие пленки, напыление под углом, хиральные структуры.
- И.И. Амиров, Р.В Селюков, В.В. Наумов, Е.С. Горлачев. Микроэлектроника 50, 1, 3 (2021)
- M.M. Hawkeye, M.T. Taschuk, M.J. Brett. Glancing Angle Deposition of Thin Films. Wiley, London (2014) 299 p
- S.N. Piramanayagam. J. Appl. Phys. 102, 011301 (2007)
- E.I. Kondorsky, P.P. Denisov. IEEE Trans. Magn. 6, 2, 167 (1970)
- О.С. Трушин, А.А. Попов, А.Н. Пестова, Л.А. Мазалецкий, А.А. Акулов. ПЖТФ 47, 12, 31 (2021)
- О.С. Трушин, А.А. Попов, А.Н. Пестова, Л.А. Мазалецкий, А.А. Акулов, А.А. Ломов. Изв. РАН. Сер. физ. 86, 5, 650 (2022)
- H. Fujiwara. Spectroscopic Ellipsometry Principles and Applications. Wiley, Tokyo (2007)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.