Исследование влияния ультрамалого потока мышьяка на процессы формирования наноструктур In(As)/GaAs методом капельной эпитаксии
Российский научный фонд, Президентская программа исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными, 19-79-10099
Балакирев С.В.
1, Кириченко Д.В.
1, Черненко Н.Е.
1, Шандыба Н.А.
1, Ерёменко М.М.
1, Солодовник М.С.
11Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Таганрог, Россия
Email: sbalakirev@sfedu.ru
Поступила в редакцию: 12 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 12 апреля 2022 г.
Принята к печати: 19 апреля 2022 г.
Выставление онлайн: 6 июня 2022 г.
Представлены результаты исследования влияния давления мышьяка в диапазоне ультрамалых значений (10-7-10-6 Pa) на процессы модификации капель In/GaAs(001) с различным исходным размером, сформированных методом капельной эпитаксии. Экспериментально показано, что экспозиция капель в ультрамалом потоке мышьяка позволяет достичь снижения размера капель до субкритических размеров с сохранением первоначально заданной поверхностной плотности. При этом экспозиция капельных наноструктур в потоке мышьяка может сопровождаться либо только уменьшением их размера, что более характерно для капель, полученных при больших толщинах осаждения индия, либо также формированием колец по периметру исходных капель и углублений внутри колец, что более характерно для капель с меньшим исходным размером. Выявлено, что зависимость относительного объема капель, подверженных диффузионному распаду, от потока мышьяка с уменьшением их исходного размера становится все более существенной. Ключевые слова: капельная эпитаксия, наноструктуры, In(As)/GaAs, поток мышьяка.
- S.-H. Wei, B. Jing, X.-Y. Zhang, J.-Y. Liao, C.-Z. Yuan, B.-Y. Fan, C. Lyu, D.-L. Zhou, Y. Wang, G.-W. Deng, H.-Z. Song, D. Oblak, G.-C. Guo, Q. Zhou. Laser Photon. Rev. 16, 2100219 (2022)
- C.-Y. Lu, J.-W. Pan. Nature Nanotechnol. 16, 1294 (2021)
- M. Fox, R. Ispasoiu. In: Springer Handbook of Electronic and Photonic Materials / Eds S. Kasap, P. Capper. Springer International Publishing AG, Cham, Switzerland (2017). 1536 p
- J. Johansen, S. Stobbe, I.S. Nikolaev, T. Lund-Hansen, Ph.T. Kristensen, J.M. Hvam, W.L. Vos, P. Lodahl. Phys. Rev. B 77, 073303 (2008)
- A. Gushterov, L. Lingys, J.P. Reithmaier. J. Cryst. Growth 311, 1783 (2009)
- P. Alonso-Gonzalez, D. Fuster, L. Gonzalez. Appl. Phys. Lett. 93, 183106 (2008)
- J.H. Lee, Z.M. Wang, G.J. Salamo. IEEE Trans. Nanotechnol. 8, 431 (2009)
- D. Zhou, G. Sharma, S.F. Thomassen, T.W. Reenaas, B.O. Fimland. Appl. Phys. Lett. 96, 061913 (2010)
- K. Akahane, N. Yamamoto, T. Kawanishi. Phys. Status Solidi 208, 425 (2011)
- X. Huang, R. Su, J. Yang, M. Rao, J. Liu, Y. Yu, S.Yu. Nanomater. 11, 930 (2021)
- J. Wu, Z.M. Wang, X. Li, Y.I. Mazur, G.J. Salamo. J. Mater. Res. 32, 4095 (2017)
- B.A. Joyce, D.D. Vvedensky. Mater. Sci. Eng. R Rep. 46, 127 (2004)
- B. Joyce, D. Vvedensky, G. Bell, J. Belk, M. Itoh, T. Jones. Mater. Sci. Eng. B 67, 7 (1999)
- N. Koguchi, S. Takahashi, T. Chikyow. J. Cryst. Growth 111, 688 (1991)
- S.V. Balakirev, M.S. Solodovnik, M.M. Eremenko, N.E. Chernenko, O.A. Ageev. Nanotechnol. 31, 485604 (2020)
- S.V. Balakirev, D.V. Kirichenko, N.E. Chernenko, N.A. Shandyba, M.M. Eremenko, O.A. Ageev, M.S. Solodovnik. Appl. Surf. Sci. 578, 152023 (2022)
- M. Gurioli, Z. Wang, A. Rastelli, T. Kuroda, S. Sanguinetti. Nature Mater. 18, 799 (2019)
- B.L. Liang, Z.M. Wang, X.Y. Wang, J.H. Lee, Y.I. Mazur, C.K. Shih, G.J. Salamo. ACS Nano 2, 2219 (2008)
- X.L. Li, G.W. Yang. J. Phys. Chem. C 112, 7693 (2008)
- C. Heyn, A. Stemmann, W. Hansen. J. Cryst. Growth 311, 1839 (2009)
- C. Somaschini, S. Bietti, A. Fedorov. J. Cryst. Growth 323, 279 (2011)
- J.S. Kim, N. Koguchi. Appl. Phys. Lett. 85, 5893 (2004)
- J. Wu, Z.M. Wang. Appl. Phys. 47, 173001 (2014)
- J. Hilska, A. Chellu, T. Hakkarainen. Cryst. Growth Des. 21, 1917 (2021)
- S.V. Balakirev, N.E. Chernenko, M.M. Eremenko, O.A. Ageev, M.S. Solodovnik. Nanomater. 11, 1184 (2021)
- S.V. Balakirev, M.S. Solodovnik, M.M. Eremenko, B.G. Konoplev, O.A. Ageev. Nanotechnol. 30, 505601 (2019)
- J.H. Lee, Z.M. Wang, G.J. Salamo. J. Phys. Condens. Matter 19, 176223 (2007)
- M. Hugues, M. Teisseire, J.M. Chauveau, B. Vinter, B. Damilano, J.Y. Duboz, J. Massies. Phys. Rev. B 76, 075335 (2007)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.