Влияние построчного лазерного сканирования на свойства лазерно-индуцированного графена
Министерство образования и науки Российской Федерации, FUUE-2022-0006, 1021032422167-7-1.3.2
Российский научный фонд, Проведение фундаментальных научных исследований, 19-72-00071
Михеев К.Г.
1, Зонов Р.Г.
1, Сюгаев А.В.
1, Булатов Д.Л.
1, Михеев Г.М.
11Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук, Ижевск, Россия
Email: k.mikheev@udman.ru, znv@udman.ru, syual@udman.ru, dlbulatov@udman.ru, mikheev@udman.ru
Поступила в редакцию: 17 января 2022 г.
В окончательной редакции: 17 января 2022 г.
Принята к печати: 21 января 2022 г.
Выставление онлайн: 21 февраля 2022 г.
Технология карбонизации полиимидной (ПИ) пленки путем прямой лазерной обработки привлекает большое внимание благодаря универсальности и простоте получения углеродного материала, лазерно-индуцированного графена (ЛИГ), используемого при создании различных датчиков и функциональных устройств. В настоящей работе получены пленочные структуры ЛИГ путем построчного сканирования пучка непрерывного CO2-лазера по поверхности ПИ-пленки. Синтезированный пленочный углеродный материал исследован с помощью оптической и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), рентгенофотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) и спектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС). Показано, что спектры КРС отдельной строки ЛИГ и множества строк ЛИГ, накладывающихся друг на друга, существенно отличаются друг от друга. Установлено, что многократное лазерное сканирование ПИ-пленки приводит к заметному уменьшению количества дефектов ЛИГ, а также к значительному уменьшению удельного поверхностного сопротивления синтезируемого пленочного материала. Полученные результаты могут быть использованы при синтезе пленочных структур ЛИГ с улучшенными характеристиками. Ключевые слова: лазерно-индуцированный графен, полиимидная пленка, построчное лазерное сканирование.
- Y. Yang, Y. Song, X. Bo, J. Min, O.S. Pak, L. Zhu, M. Wang, J. Tu, A. Kogan, H. Zhang, T.K. Hsiai, Z. Li, W. Gao. Nat. Biotechnol. 38, 217 (2020)
- B. Wang, A. Facchetti. Adv. Mater. 31, 1 (2019)
- N. Kurra, Q. Jiang, P. Nayak, H.N. Alshareef. Nano Today 24, 81 (2019)
- C. Wang, C. Wang, Z. Huang, S. Xu. Adv. Mater. 30, 1 (2018)
- C. Zhang, Z. Peng, C. Huang, B. Zhang, C. Xing, H. Chen, H. Cheng, J. Wang, S. Tang. Nano Energy 81, 105609 (2021)
- V. Strauss, K. Marsh, M.D. Kowal, M. El-Kady, R.B. Kaner. Adv. Mater. 30, 1 (2018)
- J. Ye, H. Tan, S. Wu, K. Ni, F. Pan, J. Liu, Z. Tao, Y. Qu, H. Ji, P. Simon, Y. Zhu. Adv. Mater. 30, 1801384 (2018)
- Y. Zhang, L. Zhang, K. Cui, S. Ge, X. Cheng, M. Yan, J. Yu, H. Liu. Adv. Mater. 30, 1 (2018)
- Z. Wei, D. Wang, S. Kim, S.-Y. Kim, Y. Hu, M.K. Yakes, A.R. Laracuente, Z. Dai, S.R. Marder, C. Berger, W.P. King, W.A. de Heer, P.E. Sheehan, E. Riedo. Science 328, 1373 (2010)
- S. Stankovich, D.A. Dikin, R.D. Piner, K.A. Kohlhaas, A. Kleinhammes, Y. Jia, Y. Wu, S.T. Nguyen, R.S. Ruoff. Carbon N. Y. 45, 1558 (2007)
- D.A. Sokolov, K.R. Shepperd, T.M. Orlando. J. Phys. Chem. Lett. 1, 2633 (2010)
- R. You, Y. Liu, Y. Hao, D. Han, Y. Zhang, Z. You. Adv. Mater. 32, 1901981 (2020)
- Z. Wan, E.W. Streed, M. Lobino, S. Wang, R.T. Sang, I.S. Cole, D.V. Thiel, Q. Li. Adv. Mater. Technol. 3, 1 (2018)
- R. Ye, Y. Chyan, J. Zhang, Y. Li, X. Han, C. Kittrell, J.M. Tour. Adv. Mater. 29, 1702211 (2017)
- R. Ye, D.K. James, J.M. Tour. Adv. Mater. 31, 1803621 (2019)
- D. Zhai, Y. Yang, Z. Geng, B. Cui, R. Zhao. IEEE Trans. Terahertz Sci. Technol. 8, 719 (2018)
- J. Lin, Z. Peng, Y. Liu, F. Ruiz-Zepeda, R. Ye, E.L.G.G. Samuel, M.J. Yacaman, B.I. Yakobson, J.M. Tour. Nature Commun. 5, 5714 (2014)
- Y. Ding, Z. Cheng, X. Zhu, K. Yvind, J. Dong, M. Galili, H. Hu, N.A. Mortensen, S. Xiao, L.K. Oxenl we. Nanophotonics 9, 317 (2020)
- P. Zaccagnini, D. di Giovanni, M.G. Gomez, S. Passerini, A. Varzi, A. Lamberti. Electrochim. Acta 357, 136838 (2020)
- Y. Wang, G. Wang, M. He, F. Liu, M. Han, T. Tang, S. Luo. Small 2103322, 1 (2021)
- L. Huang, L. Ling, J. Su, Y. Song, Z. Wang, B.Z. Tang, P. Westerhoff, R. Ye. ACS Appl. Mater. Interfaces 12, 51864 (2020)
- L. Cheng, W. Guo, X. Cao, Y. Dou, L. Huang, Y. Song, J. Su, Z. Zeng, R. Ye. Mater. Chem. Front. (2021)
- H. Wang, Z. Zhao, P. Liu, X. Guo. Biosensors 12, 55 (2022)
- S. Kaur, S. Karmakar, K.M. Devi, R.K. Varshney, D.R. Chowdhury. Optik 248, 168073 (2021)
- M.K. Smith, D.X. Luong, T.L. Bougher, K. Kalaitzidou, J.M. Tour, B.A. Cola. Appl. Phys. Lett. 109, 253107 (2016)
- X. Yu, N. Li, S. Zhang, C. Liu, L. Chen, S. Han, Y. Song, M. Han, Z. Wang. J. Power Sources 478, 229075 (2020)
- M.G. Stanford, C. Zhang, J.D. Fowlkes, A. Hoffman, I.N. Ivanov, P.D. Rack, J.M. Tour, A. Ho, I.N. Ivanov, P.D. Rack, J.M. Tour. ACS Appl. Mater. Interfaces 12, 10902 (2020)
- L.X. Duy, Z. Peng, Y. Li, J. Zhang, Y. Ji, J.M. Tour. Carbon N. Y. 126, 472 (2018)
- К.Г. Михеев, Р.Г. Зонов, Д.Л. Булатов, А.Е. Фатеев, Г.М. Михеев. Письма в ЖТФ 46, 51 (2020)
- K.G. Mikheev, R.G. Zonov, T.N. Mogileva, A.E. Fateev, G.M. Mikheev. Opt. Laser Technol. 141, 107143 (2021)
- E.L. Ivchenko. Optical Spectroscopy of Semiconductor Nanostructures. Springer (2004)
- G.M. Mikheev, A.S. Saushin, V.V. Vanyukov, K.G. Mikheev, Y.P. Svirko. Nanoscale Res. Lett. 12, 39 (2017)
- K.G. Mikheev, A.S. Saushin, R.G. Zonov, A.G. Nasibulin, G.M. Mikheev. J. Nanophotonics 10, 012505 (2015)
- Г.М. Михеев, Р.Г. Зонов, А.Ю. Попов, Д.Г. Калюжный. Приборы и техника эксперимента 46, 3, 164 (2003)
- E. Haque, M.M. Islam, E. Pourazadi, M. Hassan, S.N. Faisal, A.K. Roy, K. Konstantinov, A.T. Harris, A.I. Minett, V.G. Gomes. RSC Adv. 5, 30679 (2015)
- E.R. Mamleyev, S. Heissler, A. Nefedov, P.G. Weidler, N. Nordin, V.V. Kudryashov, K. Lange, N. MacKinnon, S. Sharma. Npj Flex. Electron. 3, 2 (2019)
- Z. Wan, M. Umer, M. Lobino, D. Thiel, N.T. Nguyen, A. Trinchi, M.J.A. Shiddiky, Y. Gao, Q. Li. Carbon N.Y. 163, 385 (2020)
- X.J. Gu. Appl. Phys. Lett. 62, 1568 (1993)
- D.W. Mayo, F.A. Miller, R.W. Hannah. Course Notes on the Interpretation of Infrared and Raman Spectra. John Wiley \& Sons, Inc., Hoboken, NJ, USA (2004)
- S. Devasahayam, D.J.T. Hill, J.W. Connell. J. Appl. Polym. Sci. 101, 1575 (2006)
- G. Socrates. Infrared and Raman Characteristic Group Frequencies: Tables and Charts. 3rd ed. Wiley (2004)
- A. Lamberti, M. Serrapede, G. Ferraro, M. Fontana, F. Perrucci, S. Bianco, A. Chiolerio, S. Bocchini. 2D Mater. 4, 035012 (2017)
- P. Zaccagnini, C. Ballin, M. Fontana, M. Parmeggiani, S. Bianco, S. Stassi, A. Pedico, S. Ferrero, A. Lamberti. Adv. Mater. Interfaces 8, 2101046 (2021)
- A.C. Ferrari. Solid State Commun. 143, 47 (2007)
- L.M. Malard, M.A. Pimenta, G. Dresselhaus, M.S. Dresselhaus. Phys. Rep. 473, 51 (2009)
- A.C. Ferrari, J.C. Meyer, V. Scardaci, C. Casiraghi, M. Lazzeri, F. Mauri, S. Piscanec, D. Jiang, K.S. Novoselov, S. Roth, A.K. Geim. Phys. Rev. Lett. 97, 1 (2006)
- Z. Zafar, Z.H. Ni, X. Wu, Z.X. Shi, H.Y. Nan, J. Bai, L.T. Sun. Carbon N. Y. 61, 57 (2013)
- A. Eckmann, A. Felten, A. Mishchenko, L. Britnell, R. Krupke, K.S. Novoselov, C. Casiraghi. Nano Lett. 12, 3925 (2012)
- X. Wang, Y. Cui, Y. Tao, H. Yang, J. Zhao. J. Electron. Mater. 10, (2020)
- R. Ye, D.K. James, J.M. Tour. Acc. Chem. Res. 51, 1609 (2018).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.