Вышедшие номера
Влияние построчного лазерного сканирования на свойства лазерно-индуцированного графена
Министерство образования и науки Российской Федерации, FUUE-2022-0006, 1021032422167-7-1.3.2
Российский научный фонд, Проведение фундаментальных научных исследований, 19-72-00071
Михеев К.Г. 1, Зонов Р.Г. 1, Сюгаев А.В. 1, Булатов Д.Л.1, Михеев Г.М. 1
1Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук, Ижевск, Россия
Email: k.mikheev@udman.ru, znv@udman.ru, syual@udman.ru, dlbulatov@udman.ru, mikheev@udman.ru
Поступила в редакцию: 17 января 2022 г.
В окончательной редакции: 17 января 2022 г.
Принята к печати: 21 января 2022 г.
Выставление онлайн: 21 февраля 2022 г.

Технология карбонизации полиимидной (ПИ) пленки путем прямой лазерной обработки привлекает большое внимание благодаря универсальности и простоте получения углеродного материала, лазерно-индуцированного графена (ЛИГ), используемого при создании различных датчиков и функциональных устройств. В настоящей работе получены пленочные структуры ЛИГ путем построчного сканирования пучка непрерывного CO2-лазера по поверхности ПИ-пленки. Синтезированный пленочный углеродный материал исследован с помощью оптической и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), рентгенофотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) и спектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС). Показано, что спектры КРС отдельной строки ЛИГ и множества строк ЛИГ, накладывающихся друг на друга, существенно отличаются друг от друга. Установлено, что многократное лазерное сканирование ПИ-пленки приводит к заметному уменьшению количества дефектов ЛИГ, а также к значительному уменьшению удельного поверхностного сопротивления синтезируемого пленочного материала. Полученные результаты могут быть использованы при синтезе пленочных структур ЛИГ с улучшенными характеристиками. Ключевые слова: лазерно-индуцированный графен, полиимидная пленка, построчное лазерное сканирование.