Вышедшие номера
Влияние кристаллографической ориентации кремния на образование "первичных" трещин
Веттегрень В.И.1,2, Кадомцев А.Г.1, Щербаков И.П.1, Мамалимов Р.И.1,2, Оганесян Г.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики Земли им. О.Ю. Шмидта РАН, Москва, Россия
Email: Victor.Vettegren@mail.ru
Поступила в редакцию: 29 декабря 2021 г.
В окончательной редакции: 29 декабря 2021 г.
Принята к печати: 3 января 2022 г.
Выставление онлайн: 21 февраля 2022 г.

При разрушении поверхности кремния образуются кластеры из самых мелких - "первичных" трещин. Их образование приводит к появлению сигналов "фрактолюминесценции" (FL). Сигналы и спектры FL содержали максимумы, число которых равно числу "первичных" трещин в кластере. Анализ сигналов и спектров FL показал, что при разрушении поверхностей (100) и (110) появлялись кластеры из четырех, а поверхности (111) - из трех "первичных" трещин. По скорости и времени роста оценены их размеры. Оказалось, что они кратны постоянной кристаллической решетки a: ~3a, 4a и 6a. В момент образования "первичные" трещины находятся в неравновесном состоянии и с течением времени трансформируются в дефекты, которые имеют вид "впадин" и "вершинок". Их размеры от 2 до 4 раз меньше размеров "первичных" трещин. Ключевые слова: кремний, разрушение, "первичные" трещины, фрактолюминесценция, интерференционная профилометрия.