Вышедшие номера
Влияние буферного слоя PZT на электрофизические свойства МДМ-структур с пленкой BST
Афанасьев М.С.1, Белорусов Д.А.1, Киселев Д.А.1,2, Сивов А.А.1, Чучева Г.В.1
1Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Фрязино, Россия
2Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Email: gvc@ms.ire.mssi.ru
Поступила в редакцию: 5 июля 2021 г.
В окончательной редакции: 5 июля 2021 г.
Принята к печати: 7 июля 2021 г.
Выставление онлайн: 10 августа 2021 г.

Пленки состава Ba0.8Sr0.2TiO3 (BST) синтезированы методом высокочастотного (ВЧ) распыления на буферный слой сегнетоэлектрической пленки состава PbZrxTi1-xO3 (PZT). Представлены сравнительные результаты электрофизических свойств трех различных МДМ-структур: Pt/BST/Ni, Pt/PZT/Ni и Pt/PZT-BST/Ni. Ключевые слова: структуры металл-диэлектрик-металл, сегнетоэлектрические пленки состава Ba0.8Sr0.2TiO3, буферный слой, электрофизические свойства.
  1. В. Piekarski, M. Dubey, D. De Voe, E. Zakar, R. Zeto, J. Conrad, R. Piekarz, M. Ervin. Integrated Ferroelectrics 24, 147 (1999)
  2. E. Zakar, M. Dubey, B. Piekarski, J. Conrad, R. Piekarz, R.J. Widuta. Vac. Sci. Technol. 19, 1, 345 (2001)
  3. S. Gevorgian. Ferroelectrics in Microwave Devices. Circuits and Systems. Springer, N. Y. (2009). 365 p
  4. N. Setter, D. Damjanovic, L. Eng, G. Fox, S. Gevorgian, S. Hong, A. Kingon, H. Kohlstedt, N.Y. Park, G.B. Stephenson, I. Stolitchnov, A.K. Taganstev, D.V. Taylor, T. Yamada, S. Streiffer. J. Appl. Phys. 100, 051606 (2006)
  5. F.-C. Sun, M.T. Kesim, Y. Espinal, S.P. Alpay. J. Mater. Sci. 51, 499 (2016)
  6. L.W. Martin, A.M. Rappe. Nature Rev. Mater. 2, 16087 (2017)
  7. C.L. Chen, J. Shen, S.Y. Chen, G.P. Luo, C.W. Chu, F.A. Miranda, F.W. Van Keuls, J.C. Jiang, E.I. Meletis, H.Y. Chang. Appl. Phys. Lett. 78, 652 (2001)
  8. T. Kawakubo, S. Komatsu, K. Abe, K. Sano, N. Yanase, N. Fukushima. Jpn. J. Appl. Phys. 37, 5108 (1998)
  9. J. Vukmirovic, A. Nesterovic, I. Stijepovic, M. Milanovic, N. Omerovic, B. Bajac, J. Bobic, V. V. Srdic. J. Mater. Sci. Mater. Electron. 30, 14995 (2019)
  10. X.Y. Chen, Z.P. Xu, D.X. Yan, Y.S. Fan, J.G. Zhu, P. Yu. J. Alloys Compd. 695, 1913 (2017)
  11. P. Gardes, M. Diatta, M. Proust, E. Bouyssou, P. Poveda. J. Appl. Phys. 129, 214101 (2021)
  12. С.П. Зинченко, Д.В. Стрюков, А.В. Павленко, В.М. Мухортов. ЖТФ 46, 41 (2020)
  13. C.-S. Park, S.-M. Lee, H.-E. Kim. J. Am. Cer. Soc. 90, 9, 2923 (2008)
  14. М. Лайнс, А. Гласс. Сегнетоэлектрики и родственные материалы / Под ред. В.В. Леманова, Г.А. Смоленского. Мир, М. (1981). 736 с
  15. В.A. Tuttle, R.W. Schwartz. MRS Bull. 21, 6, 49 (1996)
  16. М.С. Афанасьев, Д.А. Киселев, С.А. Левашов, В.А. Лузанов, А. Набиев, В.Г. Нарышкина, А.А. Сивов, Г.В. Чучева. ФТТ 60, 5, 951 (2018)
  17. Е.И. Гольдман, А.Г. Ждан, Г.В. Чучева. ПТЭ 6, 110 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.