Изготовление сверхпроводниковых туннельных структур с использованием электронно-лучевой литографии
Российский научный фонд, Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований отдельными научными группами, 19-19-00618
Фоминский М.Ю.
1, Филиппенко Л.В.
1, Чекушкин А.М.
1, Кошелец В.П.
11Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
Email: nanolith@yandex.ru, lyudmila@hitech.cplire.ru, chekushkin@hitech.cplire.ru, valery@hitech.cplire.ru
Поступила в редакцию: 9 апреля 2021 г.
В окончательной редакции: 9 апреля 2021 г.
Принята к печати: 19 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 6 июня 2021 г.
Разработана и оптимизирована технология изготовления субмикронных переходов Nb-AlN-NbN с использованием электронно-лучевой литографии. Были проведены исследования по подбору дозы экспонирования, времени проявления и параметров плазмохимического травления для получения максимального значения параметра качества туннельных переходов R_j/Rn. Использование негативного резиста ma-N 2400 с меньшей чувствительностью и лучшим контрастом в сравнении с резистом UVN 2300-0.5 позволило улучшить воспроизводимость процесса изготовления структур. Это позволило изготовить туннельные переходы Nb-AlN-NbN с высокой плотностью тока и параметром качества R_j/R_n>15 субмикронных размеров (площадь от 2.0 до 0.2 μm2). Экспериментально измерен разброс параметров туннельных структур субмикронных размеров по подложке, и воспроизводимость процесса изготовления структур от цикла к циклу. Ключевые слова: электронно-лучевая литография, негативный электронный резист, плазмохимическое травление, магнетронное напыление, сверхпроводниковые туннельные структуры.
- Brian D. Jackson, Gert de Lange, Tony Zijlstra, Matthias Kroug, Jacob W. Kooi, Jeffrey A. Stern, Teun M. Klapwijk. IEEE Trans. Microw. Theory Techn. 54, 2, 547 (2006)
- A. Karpov, D. Miller, F. Rice, J.A. Stern, B. Bumble, H.G. LeDuc, J. Zmuidzinas. IEEE Trans. Appl. Supercond. 17, 2, 343 (2007)
- К.И. Рудаков, П.Н. Дмитриев, А.М. Барышев, А.В. Худченко, В.П. Кошелец. Изв. вузов. Радиофизика LIX, 08--09, 793 (2016)
- M.Yu. Torgashin, V.P. Koshelets, P.N. Dmitriev, A.B. Ermakov, L.V. Filippenko, P.A. Yagoubov. IEEE Trans. Appl. Supercond. 17, 2, 379 (2007)
- P.N. Dmitriev, I.L. Lapitskaya, L.V. Filippenko, A.B. Ermakov, S.V. Shitov, G.V. Prokopenko, S.A. Kovtonyuk, V.P. Koshelets. IEEE Trans. Appl. Supercond. 13, 2, 107 (2003)
- B. Bumble, H.G. LeDuc, J.A. Stern, K.G. Megerian. IEEE Trans. Appl. Supercond. 11, 1, 76 (2001)
- X. Meng, T. Van Duzer. IEEE Trans. Appl. Supercond. 13, 2, 91 (2003)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
