Вышедшие номера
Каналирование медленных ионов в монокристаллическом кремнии
Переводная версия: 10.1134/S1063783420120276
Свечников А.Б.
Email: asvech@mail.ru
Поступила в редакцию: 22 июня 2020 г.
В окончательной редакции: 22 июня 2020 г.
Принята к печати: 6 августа 2020 г.
Выставление онлайн: 8 сентября 2020 г.

Профили распределения ионов Si+ по глубине монокристаллического кремния рассчитаны методом молекулярной динамики. Неупругие потери энергии при торможении определены в рамках теории функционала электронной плотности. Выполнен анализ факторов, оказывающих влияние на процесс каналирования ионов. В частности, подтверждено существование "эффекта массы" для критического угла каналирования. Ключевые слова: каналирование ионов, молекулярная динамика, торможение.
  1. H. Paul. AIP Conf. Proc. 1525, 309 (2013)
  2. M.T. Robinson, D. K. Holmes, O.S. Oen. In Le Bombardement Ionique (Centre National de la Recherche Scientifique) Paris (1962). 105 p
  3. G.R. Piercy, F. Brown, J.A. Davies, M. McCargo. Phys. Rev. Lett. 10, 399 (1963)
  4. X. Gonze, F. Jollet, F. Abreu Araujo etc. Comp. Phys. Commun. 205, 106 (2016)
  5. C. Kittel. Introduction to Solid State Physics. Wiley (2004). 704 p
  6. J.F. Justo, M.Z. Bazant, E. Kaxiras, V.V. Bulatov, S. Yip. Phys. Rev. B 58, 2539 (1998)
  7. J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Matter. SRIM Company (2008). 683 p
  8. О.Б. Фирсов. ЖЭТФ 36, 1517 (1959)
  9. J. Lindhard, M. Scharff. Phys. Rev. 124, 128 (1961)
  10. P.M. Echenique, R.M. Nieminen, R.H. Ritchie. Solid State Commun. 37, 779 (1981)
  11. J.P. Perdew, K. Burke, M. Ernzerhof. Phys. Rev. Lett. 77, 3865 (1996)
  12. T.L. Ferrell, R.H. Ritchie. Phys. Rev. B 16, 115 (1977)
  13. J. Calera-Rubio, A. Gras-Marti, N.R. Arista. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 93, 137 (1994)
  14. С. Сунакава. Квантовая теория рассеяния. Мир, М. (1979). 272 c
  15. И. Линдхард. УФН 99, 249 (1969)
  16. K. Nordlund, F. Djurabekova, G. Hobler. Phys. Rev. B 94, 214109 (2016)
  17. L.-P. Zheng, Z.-Y. Zhu, Y. Li, D.-Z. Zhu, H.-H. Xia. Nucl. Instrum. Meth. B 266, 849 (2008)
  18. W. Takeuchi. Nucl. Instrum. Meth. B 269, 1355 (2011)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.