Каналирование медленных ионов в монокристаллическом кремнии
Свечников А.Б.
Email: asvech@mail.ru
Поступила в редакцию: 22 июня 2020 г.
В окончательной редакции: 22 июня 2020 г.
Принята к печати: 6 августа 2020 г.
Выставление онлайн: 8 сентября 2020 г.
Профили распределения ионов Si+ по глубине монокристаллического кремния рассчитаны методом молекулярной динамики. Неупругие потери энергии при торможении определены в рамках теории функционала электронной плотности. Выполнен анализ факторов, оказывающих влияние на процесс каналирования ионов. В частности, подтверждено существование "эффекта массы" для критического угла каналирования. Ключевые слова: каналирование ионов, молекулярная динамика, торможение.
- H. Paul. AIP Conf. Proc. 1525, 309 (2013)
- M.T. Robinson, D. K. Holmes, O.S. Oen. In Le Bombardement Ionique (Centre National de la Recherche Scientifique) Paris (1962). 105 p
- G.R. Piercy, F. Brown, J.A. Davies, M. McCargo. Phys. Rev. Lett. 10, 399 (1963)
- X. Gonze, F. Jollet, F. Abreu Araujo etc. Comp. Phys. Commun. 205, 106 (2016)
- C. Kittel. Introduction to Solid State Physics. Wiley (2004). 704 p
- J.F. Justo, M.Z. Bazant, E. Kaxiras, V.V. Bulatov, S. Yip. Phys. Rev. B 58, 2539 (1998)
- J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Matter. SRIM Company (2008). 683 p
- О.Б. Фирсов. ЖЭТФ 36, 1517 (1959)
- J. Lindhard, M. Scharff. Phys. Rev. 124, 128 (1961)
- P.M. Echenique, R.M. Nieminen, R.H. Ritchie. Solid State Commun. 37, 779 (1981)
- J.P. Perdew, K. Burke, M. Ernzerhof. Phys. Rev. Lett. 77, 3865 (1996)
- T.L. Ferrell, R.H. Ritchie. Phys. Rev. B 16, 115 (1977)
- J. Calera-Rubio, A. Gras-Marti, N.R. Arista. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 93, 137 (1994)
- С. Сунакава. Квантовая теория рассеяния. Мир, М. (1979). 272 c
- И. Линдхард. УФН 99, 249 (1969)
- K. Nordlund, F. Djurabekova, G. Hobler. Phys. Rev. B 94, 214109 (2016)
- L.-P. Zheng, Z.-Y. Zhu, Y. Li, D.-Z. Zhu, H.-H. Xia. Nucl. Instrum. Meth. B 266, 849 (2008)
- W. Takeuchi. Nucl. Instrum. Meth. B 269, 1355 (2011)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.