Вышедшие номера
Home » Физика твердого тела » Год 2020, выпуск 11 » Статья стр. 1936
<<<>>>
Структурные свойства тонких пленок, полученных магнетронным распылением полидиацетилена
DOI: 10.21883/FTT.2020.11.50073.113
Переводная версия: 10.1134/S1063783420110360
Стрелецкий О.А.1, Завидовский И.А.1, Нищак О.Ю.1, Щеголихин А.Н.2, Савченко Н.Ф.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Институт биохимической физики им. Н.М. Эмануэля Российской академии наук, Москва, Россия
Email: ia.zavidovskii@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 21 мая 2020 г.
В окончательной редакции: 12 июня 2020 г.
Принята к печати: 14 июня 2020 г.
Выставление онлайн: 3 августа 2020 г.
PDF версия
Изучались пленки, полученные высокочастотным распылением монокристаллического полидиацетилена (ПДА). Исследование структуры проводилось методами спектроскопии комбинационного рассеяния, просвечивающей электронной микроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Показано, что полученные пленки имеют гетерогенную структуру, содержащую агломераты наноразмерных включений исходного ПДА и нерегулярные sp/sp^2-гибридизованные фрагменты углеродных цепей. Ключевые слова: полидиацетилен, магнетронное распыление, просвечивающая электронная микроскопия, КР-спектроскопия, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.
  1. А.В. Елопов, В.Б. Зайцев, Д.М. Жигунов, Г.А. Шандрюк, А.А. Ежов, А.С. Мерекалов, Л.А. Головань. Изв. РАН. Сер. физ. 83, 41 (2019)
  2. В.А. Данько, С.А. Злобин, И.З. Индутный, И. П. Лисовский, В.Г. Литовченко, Е.В. Михайловская, П.Е. Шепелявый, Е. Бегун. Материалы электрон. техники 4, 52 (2013)
  3. O.A. Streletskiy, I.A. Zavidovskiy, O.Yu. Nischak, A.A. Haidarov. Vacuum 175, 109286 (2020)
  4. А.В. Колубаев, А.В. Белый, И.А. Буяновский, Е.А. Колубаев, В.А. Кукареко, О.В. Сизова, М.М. Хрущов. Изв. вузов 62, 8, 52 (2019)
  5. М.М. Хрущов, М.В. Атаманов, Е.А. Марченко, М.И. Петржик, И.С. Левин. Изв. РАН. Сер. физ. 78, 10, 1257 (2014)
  6. Q. Cheng, S. Xu, K. Ostrikov. Acta Mater. 58, 560 (2010)
  7. D. Babic, R. Tsu, R.F. Greene. Phys. Rev. B 45, 14150 (1992)
  8. V. Turck, S. Rodt, O. Stier, R. Heitz, R. Engelhardt, U.W. Pohl, D. Bimberg, R. Steingruber. Phys. Rev. B 61, 15, 9944 (2000)
  9. M. Fu, F. Ehrat, Yu Wang, K.Z. Milowska, C. Reckmeier, A.L. Rogach, J.K. Stolarczyk, A.S. Urban, J. Feldmann. Nano Lett. 15, 6030 (2015)
  10. H. Mertens, J.S. Biteen, H.A. Atwater, A. Polman. Nano lett. 6, 2262 (2006)
  11. С.Н. Штыков, Т.Ю. Русанова. Рос. хим. журн. LII, 92 (2008)
  12. E. Palesch, A. Marek, P. Solarc, O. Kylian, J. Vyskocil, H. Biederman, V. Cech. Thin Solid Films 544, 593 (2013)
  13. P. Solav r, O. Polonskyi, A. Choukourov, A. Artemenko, J. Hanuv s, H. Biederman, D.Slavi nska. Surf. Coatings Technol. 205, S42 (2011)
  14. J.C. Tuberquia, G.K. Jennings. ACS Appl. Mater. Interfaces 5, 7, 2593 (2013)
  15. H. Biederman, P. Bi lkova, J. Jev zek, P. Hli dek, D. Slavi nska. J. Non-Crystal. Solids 218, 44 (1997)
  16. M. Drabik, O. Polonskyi, O. Kylian, J. Cechvala, A. Artemenko, I. Gordeev, A. Choukourov, D. Slavi nska, I. Matoli nova, H. Biederman. Plasma Proc. Polymers 7, 7, 544 (2010)
  17. A. Choukourov, J. Hanuv s, J. Kousal, A. Grinevich, Y. Pihosh, D. Slavi nska, H. Biederman. Vacuum 81, 4, 517 (2006)
  18. M. Kitoh, Y. Honda. Thin Solid Films 271, 1--2, 92 (1995)
  19. A.N. Shchegolikhin, O.L. Lazareva. Spectrochim. Acta A 53, 1, 67 (1997)
  20. R. Baughman, D. Galvao, C. Cui, S. Dantas. Chem. Phys. Lett. 269, 3--4, 356 (1997)
  21. Г.А. Виноградов. Успехи химии 53, 1, 135 (1984)
  22. A.A. Voevodin, J.G. Jones, J.S. Zabinski, Zs. Czigany, L. Hultman. J. Appl. Phys. 92, 4980 (2002)
  23. M. Zarrabian, N. Fourches-Coulon, G. Turban, C. Marhic, M. Lancin. Appl. Phys. Lett. 70, 2535 (1997)
  24. H. Song, L. Ji, H. Li, X. Liu, W. Wang, H. Zhou, J. Chen. ACS Appl. Mater. Interfaces 8, 6639 (2016)
  25. R.J. Young, R.T. Read, D. Bloor, D. Ando. Faraday Discus. Chem. Soc. 68, 509 (1979)
  26. R.T. Read, R.J. Young. J. Mater Sci. 19, 1, 327 (1984)
  27. X. Zhao, Y. Ando, Y. Liu, M. Jinno, T. Suzuki. Phys. Rev. Lett. 90, 18, 187401-1 (2003)
  28. Т.Д. Варфоломеева, С.В. Попова, А.Г. Ляпин, С.Г. Ляпин, В.В. Бражкин, Ю.П. Кудрявцев, С.Е. Евсюков. Письма в ЖЭТФ 66, 237 (1997)
  29. A. Jurkeviv ciute, G. Klimaite, T. Tamuleviv cius, J. Fiutowski, H. Rubahn, S. Tamuleviv cius. Adv. Eng. Mater. 22, 1900951 (2019)
  30. H. Tabata, M. Fujii, S. Hayashi, T. Doi, T. Wakabayashi. Carbon 44, 15, 3168 (2006)
  31. B. Pan, J. Xiao, J. Li, P. Liu, C. Wang, G. Yang. Sci. Adv. 1, 9, e1500857 (2015)
  32. R.R. Tykwinski. Chem. Record 15, 6, 1060 (2015)
  33. F. Cataldo. Polyynes: Synthesis, Properties, and Applications. CRC Press (2005). P. 233
  34. A.C. Ferrari, J. Robertson. Phys. Rev. B 61, 20, 14095 (2000)
  35. J.-T. Jiu, H. Wang, C.-B. Cao, H.-S. Zhu. J. Matеr. Sci. 34, 21, 5205 (1999)
  36. M.P. Seah. Vacuum 34, 463 (1984)
  37. S. Tougaard. Surf. Sci. 216, 3, 343 (1989)
  38. B.K. Tay, X. Shi, H.S. Tan, D.H.C. Chua. Surf. Interface Anal. 28, 1, 231 (1999)
  39. R.G. Lacerda, P. Hammer, F.L. Freire, F. Alvarez, F.C. Marques. Diamond Rel.Mater. 9, 3--6, 796 (2000)
  40. G. Sobon, J. Sotor, J. Jagiello, R. Kozinski, M. Zdrojek, M. Holdynski, P. Paletko, J. Boguslawski, L. Lipinska, K.M. Abramski. Opt. Exp. 20, 19463 (2012)
  41. R.N. Oosterbeek, C.K. Seal, M.M. Hyland. Appl. Surf. Sci. 321, 432 (2014)
  42. E.T. Kang, H.C. Ti, K.G. Neoh. Polym J. 20, 845 (1988)
  43. R.K. Shervedani, A. Amini. Carbon 93, 762 (2015)
  44. Ю.Г. Коробова, В.Г. Бабаев, В.В. Хвостов, М.Б. Гусева. Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физика. Астрономия 1, 33 (2008)
  45. B. Schultrich. Tetrahedrally Bonded Amorphous Carbon Films I. Springer Berlin Heidelberg, Berlin, Heidelberg (2018). 752 p
  46. J. Knecht, B. Reimer, H. Bassler. Chem. Phys. Lett. 49, 2, 327 (1977)
  47. И.А. Завидовский, О.А. Стрелецкий, О.Ю. Нищак, Н.Ф. Савченко, С.В. Дворяк, А.В. Павликов. ЖТФ 90, 3, 489 (2020)
  48. H. Biederman, M. Zeuner, J. Zalman, P. Bi lkova, D. Slavi nska, V. Stelmasuk, A. Boldyreva. Thin Solid Films 392, 2, 208 (2001)
  49. I. Kholodkov, H. Biederman, D. Slavinska, A. Choukourov, M. Trchova. Vacuum 70, 4, 505 (2003)
  50. K. Fukushima, Y. Ikeda, T. Hayashi, N. Kikuchi, E. Kusano, A. Kinbara. Thin Solid Films 392, 2, 254 (2001)
  51. G.A. Bleykher, A.O. Borduleva, V.P. Krivobokov, D.V. Sidelev. Vacuum 132, 62 (2016)
  52. M.N. Wybourne, B.J. Kiff, D.N. Batchelder. Phys. Rev. Lett. 53, 6, 580 (1984)
  53. S.G. Hansen, T.E. Robitaille. Appl. Phys. Lett. 52, 1, 81 (1988)
  54. S. Tomaru, K. Kubodera, S. Zembutsu, K. Takeda, M. Hasegawa. Electron. Lett. 23, 11, 595 (1987)
  55. Y. Takahashi, M. Iijima, Y. Oishi, M. Kakimoto, Y. Imai. Macromolecules 24, 12, 3543 (1991).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme